为何红外固化技术才是无铅干燥的最佳选择？
在制造半导体产品时，“清洁”不仅仅是一个目标，而是至关重要的前提。任何一点灰尘或杂质都可能破坏晶圆的质量。
长期以来，人们一直使用对流式烤箱来加热晶圆。但说实话，这种设备效率低下——它只是把空气强行吹动，实际上只是让颗粒物在洁净室里乱飞而已。此外，为整个房间加热也会造成巨大的能源浪费。
因此，我们选择使用红外加热器。与其加热空气，不如让能量以电磁辐射的形式直接作用于晶圆上的树脂或光刻胶上。这样一来，就无需中间介质了。**关键在于效率。**由于红外加热不会浪费时间去加热整个房间，所以能量可以直接作用于需要处理的部位。这样一来，加热时间可以从数小时缩短到几秒钟。真是非常快速。
而且，由于不需要考虑燃烧或空气循环的问题，也就不必担心有污染物进入工作区。如果你想要获得“零排放”或“无铅”认证，那这就是唯一的办法。
现实中的权衡
当然，我们需要确保这些加热器本身也是极其干净的。我们会使用高纯度的石英和特殊灯丝，这样就不会有金属碎片掉落到生产线上。不过，还是需要注意温度梯度的问题。红外加热器的功率很强，如果晶圆的移动速度不够快，就可能会产生局部过热现象。因此，必须精确控制传送带的速度，否则就会导致晶圆变形。另外，如果功率设置得过高且没有有效的散热装置，那么晶圆边缘就可能会出现热应力。这需要一定的技巧来处理。
节省空间
最棒的是，这种方式可以节省大量空间。你可以用模块化加热系统来取代那些庞大的烤箱，从而避免复杂的管道和布线问题。只需调整波长和功率密度，就能得到理想的固化效果。这是一种更高效、更安静的干燥方式，无需承担旧系统的种种弊端。