보시다시피, 고성능 건조 라인에서는 가열 요소가 가장 먼저 고장 나는 부품입니다. 그리고 이런 일이 발생하면 단순히 전구가 망가진 것에 그치지 않습니다. 단 한 군데의 절연체에 문제가 생기거나 유전체가 손상되면 장비 전체가 망가질 수 있으며, 심지어 작업자의 안전까지...

팹에서의 탄소 배출 감소: 왜 적외선 가열이 효과적인가 현재 모든 팹들은 탄소 중립 목표를 달성하기 위해 큰 압박을 받고 있습니다. 이는 상당한 부담입니다. 문제의 상당 부분은 에너지 낭비 때문인데, 특히 웨이퍼를 가열하거나 경화시키는 과정에서 그러합니다. 우리 대부...

팹에서는 잘 알려진 사실이 있습니다. 단 0.5도만의 온도 변동이라도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 반면, 과도한 열을 가하면 에너지만 소모되는 것이 아니라 포토레지스트도 손상됩니다. 따라서 필요한 것은, 작업을 반복해도, 기계를 바꿔도, 제품을 생산할 때마다...