진공 환경에서도 사용 가능한 적외선 히터
웨이퍼에 더 많은 열을 공급하고, 벽면에는 적은 열이 가도록 하기 위해서는 어떻게 해야 할까요? 진공 상태에서 웨이퍼를 가열할 때는 물리적 법칙과 싸우는 것과 같습니다. 공기가 없으므로 대류 현상을 이용할 수 없습니다. 따라서 방사능을 이용할 수밖에 없습니다.
문제는...
진공 챔버용 적외선 히터
제조 공정에서는 굽는 단계가 제품의 품질을 결정하는 가장 중요한 부분입니다. 부드러운 방식으로 굽든, 강하게 굽든, 5°C만큼의 온도 변동이라도 치명적인 오차를 유발할 수 있습니다. 또한, 가열 장치에서 입자가 발생한다면 전체 공정이 실패로 돌아갈 수 있습니다. 진공...