웨이퍼를 세척할 때는 시간과의 싸움이 필요합니다. 수분을 빠르게 제거해야 하지만, 너무 강한 열을 가하면 기판이 손상될 수 있습니다.
이 문제를 해결하기 위해 우리는 방수 기능이 있는 적외선 램프를 사용합니다. 하지만 진짜 비결은 금으로 코팅된 반사체에 있습니다. 이 반사체가 없으면 열 에너지가 그대로 기계의 섀시 안으로 사라져버립니다. 이는 에너지와 시간의 낭비입니다.
왜 금인가?
대부분의 사람들은 알루미늄 반사체를 사용하지만, 알루미늄은 적외선 에너지를 너무 많이 흡수합니다. 반면 금은 근적외선을 웨이퍼 쪽으로 효과적으로 반사해줍니다. 마치 에너지를 집중시키는 것과 같습니다. 더 많은 램프를 사용하거나 전력 소비를 높이는 대신, 기존의 램프를 더 효율적으로 활용할 수 있습니다. 그러면 원하는 부분에 더 강력한 열이 가해집니다.
문제점 해결
문제는 이 램프들이 습한 환경에 있다는 점입니다. 물이 곳곳에 있으며, 물은 어떻게든 안으로 들어오려 합니다. 만약 수분이 석영 케이스 안으로 들어가면 램프는 고장 납니다. 예상보다 훨씬 빨리 고장 나는 것입니다. 그래서 우리는 특히 배선과 커넥터가 연결되는 부분의 밀폐성에 신경을 씁니다. 밀폐성이 좋지 않으면 단락이 발생하여 생산성이 저하됩니다.
실제적인 타협점
솔직히 말해서, 금은 저렴한 재료가 아닙니다. 초기 비용은 알루미늄을 사용할 때보다 높을 것입니다. 하지만 목표 온도에 도달했을 때도 전력 소비가 낮아서 결국 비용을 절약할 수 있습니다.
단, 이 램프들을 깨끗하게 유지해야 합니다. 화학물질이 쌓이거나 금이 산화되면 반사율이 떨어집니다. 그러면 더 많은 전력을 사용해야 하고, 그 결과 웨이퍼가 변형될 수 있습니다.
따라서 정기적으로 청소를 해주는 것이 중요합니다. 이렇게 하면 에너지를 효율적으로 사용할 수 있으며, 웨이퍼도 안전하게 보호됩니다.