클린룸의 벤치 히팅 기능을 최대한 활용하는 방법 실리콘 웨이퍼를 가열하는 작업을 해본 적이 있다면 그 고충을 잘 알 것입니다. 에너지를 시스템에 공급하지만, 그 에너지의 상당 부분이 그냥 손실됩니다. 그 열이 챔버 안으로 스며들어 에너지가 낭비되고, 전체 장비가 과열...

웨이퍼 가열 효율을 극대화하는 방법 반도체 클린룸에서 웨이퍼를 가열할 때는 단순히 “물건을 따뜻하게 만드는” 것이 아닙니다. 중요한 것은 에너지를 정확히 원하는 곳, 즉 웨이퍼 표면에 전달하는 것입니다. 대부분의 사람들은 일반적인 석영 램프를 사용하지만, 이러한 램프...

왜 우리가 대형 오븐 대신 적외선 가열 방식을 사용하는가? 솔직히 말해서, 반도체 실험실에서 사용되는 그런 구식 대류식 오븐들은 사실상 엄청난 에너지를 소모하는 장비에 불과합니다. 실제로 부품을 가열하기 전에 오븐 내부의 공기와 벽면을 먼저 따뜻하게 해야 합니다. 이...

왜 적외선을 이용한 건조 방식이 무연 건조에 적합한지 반도체를 제조할 때 ‘청결’은 단순한 목표가 아니라, 모든 것을 결정하는 요소입니다. 웨이퍼에 먼지나 이물질이 조금이라도 남아 있으면 안 됩니다. 오랫동안 사람들은 대류식 오븐을 사용해 왔습니다. 하지만 솔직히 말...