에너지 절약형 반도체 히팅

팹에서는 잘 알려진 사실이 있습니다. 단 0.5도만의 온도 변동이라도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 반면, 과도한 열을 가하면 에너지만 소모되는 것이 아니라 포토레지스트도 손상됩니다. 따라서 필요한 것은, 작업을 반복해도, 기계를 바꿔도, 제품을 생산할 때마다...