유연한 디스플레이 생산 라인에서 건조 단계는 단순한 일시 정지 과정이 아닙니다. 이는 정상적인 패턴 형성과 폐기물이 되는 것 사이의 분기점입니다.
램프의 성능이 저하되면 용매가 남아 있게 되고, 포토레지스트의 표면도 고르지 않게 됩니다. 그 결과 재작업이 필요해지고, 웨이퍼의 생산도 지연됩니다. 우리는 바로 이러한 상황을 고려하여 이 건조 램프를 만들었습니다.
내부 구조에서 중요한 점
우리는 석영 케이스 안에서 단파 적외선을 사용합니다. 이를 통해 빠르고 집중된 열이 전달되며, 기판이 손상되는 것을 방지합니다.
히터 배열은 웨이퍼 전체에 균일한 열이 공급되도록 설계되어 있으며, 활성 영역 전체에서의 온도 변동폭은 ±0.1°C에 불과합니다. 그래서 매번 동일한 열 처리 조건이 유지됩니다. 케이스는 클라스 1–100 수준의 청정실 환경에 적합하며, 입자 오염을 최소화하는 설계로 인해 장시간 가열해도 입자 수가 변하지 않습니다. 설정 값은 시간이 지나도 계속 동일하게 유지됩니다.
유연한 디스플레이 생산 라인에서의 장점
얇은 기판이나 민감한 유기 소재들을 사용하는 경우, 이 램프는 제어된 방식으로 가열 및 건조를 수행함으로써 중요한 치수와 접착력을 보호합니다. 그 결과 결함이 줄어들고, CD의 균일성이 유지되며, 신뢰할 수 있는 생산성을 얻을 수 있습니다. 램프는 필요할 때만 가열되고 온도를 과도하게 높이지 않아 에너지 소비가 줄어듭니다. 또한 24/7 연속 작동에도 견딜 수 있는 부품들을 사용하기 때문에 가동 시간도 안정적입니다.
몇 가지 참고 사항
설치는 간단하지만, 스테이지와의 열적 연결 부분에서 세부적인 조정이 필요합니다. 척과 기판 구조에 맞게 설정값을 조정해야 합니다. 이 램프는 표준 인터페이스와 잘 호환되지만, 작은 크기 때문에 약간의 도구 조정이 필요할 수 있습니다. 한 번 프로파일을 설정해두면, 그 이후로는 프로세스가 계속 동일하게 유지됩니다.