보시다시피, 고성능 건조 라인에서는 가열 요소가 가장 먼저 고장 나는 부품입니다. 그리고 이런 일이 발생하면 단순히 전구가 망가진 것에 그치지 않습니다. 단 한 군데의 절연체에 문제가 생기거나 유전체가 손상되면 장비 전체가 망가질 수 있으며, 심지어 작업자의 안전까지...

유연한 디스플레이 생산 라인에서 건조 단계는 단순한 일시 정지 과정이 아닙니다. 이는 정상적인 패턴 형성과 폐기물이 되는 것 사이의 분기점입니다. 램프의 성능이 저하되면 용매가 남아 있게 되고, 포토레지스트의 표면도 고르지 않게 됩니다. 그 결과 재작업이 필요해지고,...

웨이퍼가 최종 린스 단계를 통과하는 모습을 관찰해 보십시오. 건조 단계가 제대로 이뤄지지 않으면 워터마크가 발생하고, 포토레지스트 하부층이 박리되기 시작하며, 수율에 영향을 미칩니다. 당사는 이러한 변수를 제거하기 위해 실리콘 웨이퍼 건조용 적외선 램프를 개발했습니다...