ในขั้นตอนนี้ วงจรหนา 300 มม. จะถูกนำไปอบในอุณหภูมิที่เหมาะสม เพื่อควบคุมความหนาของเส้นที่เกิดขึ้นบนวงจร หากอุณหภูมิของแผ่นความร้อนเปลี่ยนแปลงไปเพียงเล็กน้อย ก็จะส่งผลให้ความสม่ำเสมอของ CD ลดลง และวงจรนั้นก็อาจกลายเป็นของเสียได้ เราจึงออกแบบเครื่องทำความร้อนสำหรับการใช้งานในขั้นตอนนี้โดยเฉพาะ เพราะในอุตสาหกรรมนี้ ประสิทธิภาพทางความร้อนไม่ใช่เพียงตัวเลขที่ระบุไว้ในเอกสารเท่านั้น แต่มันคือส่วนหนึ่งของกระบวนการผลิตเอง
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราต้องรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิให้อยู่ในช่วง ±0.1°C ทั่วพื้นผิวของวงจร เพื่อให้ได้อุณหภูมิที่สม่ำเสมอในขั้นตอนการอบ วัสดุและการออกแบบของเครื่องทำความร้อนนั้นต้องเหมาะสมกับสภาพแวดล้อมในห้องปลอดฝุ่น โดยมีการออกแบบมาเพื่อลดการเกิดฝุ่นและก๊าซต่างๆ ในสภาพแวดล้อมระดับ Class 1–100 การควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำช่วยลดความแปรปรวนของอุณหภูมิ ทำให้วงจรแต่ละชิ้นมีอุณหภูมิที่สม่ำเสมอในทุกครั้งที่มีการผลิต
เหตุใดเครื่องทำความร้อนนี้จึงใช้งานได้ดีในการผลิตจริง ในกระบวนการลิโธกราฟี อุณหภูมิที่สม่ำเสมอเป็นสิ่งสำคัญที่ช่วยให้ได้ผลผลิตที่มีคุณภาพ ทำให้สามารถควบคุม CD ได้ดีขึ้น ลดการต้องทำการผลิตใหม่ และลดข้อบกพร่องที่เกิดขึ้นได้ เพราะเครื่องทำความร้อนนี้ไม่ก่อให้เกิดมลพิษหรือความผันผวนของอุณหภูมิ นอกจากนี้ เครื่องทำความร้อนนี้ยังสามารถทำงานได้ตลอด 24/7 ด้วยความน่าเชื่อถือสูง ทำให้ไม่มีเวลาหยุดทำงานหรือค่าใช้จ่ายในการบำรุงรักษามากนัก นอกจากนี้ ความร้อนที่ถูกส่งออกมายังมีประสิทธิภาพสูง ทำให้สามารถลดอุณหภูมิของเครื่องจักรได้ แต่ยังคงรักษาความแม่นยำของอุณหภูมิไว้ได้
รายละเอียดที่ทำให้เครื่องทำความร้อนนี้ทำงานได้ดี การติดตั้งเครื่องทำความร้อนนั้นทำได้ง่าย แต่จำเป็นต้องให้เครื่องทำความร้อนนั้นเข้ากันได้กับโครงสร้างของเครื่องจักร ระบบจ่ายไฟ และระบบควบคุม จำเป็นต้องกำหนดชนิดของขั้วต่อ ขนาด และแรงดันไฟฟ้าให้เหมาะสม มิฉะนั้นอาจเกิดปัญหาเรื่องการเชื่อมต่อไฟฟ้าและการถ่ายเทความร้อนได้ นอกจากนี้ ยังต้องมีการวางแผนการดูแลรักษาอย่างสม่ำเสมอ แม้แต่เครื่องทำความร้อนที่มีความเสถียรสูงก็ยังต้องมีการตรวจสอบเป็นประจำ เพื่อให้กระบวนการผลิตยังคงมีความแม่นยำอยู่เสมอ