
ในกระบวนการ FO-WLP ชั้นที่มีหน้าที่ควบคุมการกระจายความร้อนนั้นมีความสำคัญมาก แม้ว่าอุณหภูมิจะเปลี่ยนแปลงเพียง 0.3°C เท่านั้น ก็สามารถส่งผลให้เกิดแรงดันที่ไม่สม่ำเสมอ ทำให้แม่พิมพ์บิดเบี้ยว และส่งผลให้ประสิทธิภาพการผลิตลดลง ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีเครื่องทำความร้อนที่สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ โดยไม่ต้องคาดเดา
สิ่งที่สำคัญจริงๆ คืออะไร? เราได้ออกแบบเครื่องทำความร้อนนี้ขึ้นมาเพื่อใช้ในการควบคุมอุณหภูมิในระดับวงจรระดับชิป โดยชิ้นส่วนหลักของเครื่องนี้สามารถรักษาอุณหภูมิให้สม่ำเสมอที่ ±0.1°C ทั่วพื้นผิวของวงจร ดังนั้นชิปแต่ละตัวจึงจะได้รับอุณหภูมิที่เท่ากันในทุกขั้นตอนการผลิต ไม่ว่าจะเป็นการอบวัสดุ การอบฟอโตรีซิสต์ หรือการอบแบบแข็ง นอกจากนี้ เครื่องนี้ยังสามารถใช้งานได้ในสภาพแวดล้อมที่มีมลพิษต่ำ ตั้งแต่ระดับ Class 1 ไปจนถึง Class 100 โดยมีการเลือกวัสดุและพื้นผิวที่เหมาะสมเพื่อลดจำนวนอนุภาคที่เกิดขึ้น การไม่มีอนุภาคเกิดขึ้นเลยไม่ใช่เพียงแค่สโลแกนเท่านั้น แต่เป็นสิ่งที่ถูกออกแบบมาอย่างดีในโครงสร้างของเครื่อง รวมถึงระบบการระบายอากาศด้วย เครื่องนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24/7 โดยมีความสม่ำเสมอ และสามารถปรับอุณหภูมิให้เหมาะสมกับกระบวนการ FO-WLP ได้โดยไม่มีปัญหา
สิ่งสำคัญคือ กระบวนการ FO-WLP นั้นต้องมีการควบคุมอุณหภูมิอย่างเข้มงวด ดังนั้นเครื่องทำความร้อนนี้จึงช่วยให้อุณหภูมิอยู่ในเกณฑ์ที่กำหนด ทำให้วงจรมีความสม่ำเสมอ และลดปัญหาที่เกิดจากการบิดเบี้ยวของแม่พิมพ์ นอกจากนี้ การออกแบบที่มีมวลความร้อนต่ำยังช่วยลดเวลาในการอบ พร้อมทั้งรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ ดังนั้นการใช้พลังงานก็จะอยู่ในระดับที่เหมาะสม สิ่งที่ได้รับก็คือกระบวนการผลิตที่มีความสม่ำเสมอ ประสิทธิภาพการผลิตที่แม่นยำ และลดปัญหาที่เกิดจากเครื่องทำความร้อนได้
มีข้อควรระวังบางอย่างก่อนที่จะเลือกซื้อเครื่องนี้ โดยเครื่องนี้สามารถนำมาใช้ร่วมกับเครื่องมือ FO-WLP มาตรฐานได้ แต่คุณต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าขนาดของเครื่องและระบบการระบายอากาศนั้นเหมาะสมกับเครื่องของคุณ นอกจากนี้ คุณต้องคำนึงถึงความเสถียรของแรงดันไฟฟ้าด้วย เพราะแรงดันไฟฟ้าที่ไม่สม่ำเสมออาจส่งผลให้อุณหภูมิเปลี่ยนแปลง และทำให้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิลดลง คาดว่าจะต้องใช้เวลาสักพักในการปรับค่า PID ให้เหมาะสมกับวงจรของคุณ แต่เมื่อปรับเสร็จแล้ว เครื่องนี้จะสามารถรักษาอุณหภูมิให้สม่ำเสมอที่ ±0.1°C ได้ตลอดเวลา