Bij het gebruik van fotorezistent maakt men geen fouten door toegepaste temperatuurvariaties. Een te lage of te hoge temperatuur kan de controle van de CD’s verstoren, waardoor er defecten moeten worden opgespoord in het hele productieproces. We hebben speciale lampen ontwikkeld om deze temperatuurvariaties te verminderen.
Wat belangrijk is in de praktijk
Er wordt een temperatuuruniformiteit van ±0,1°C behaald over het hele oppervlak van de wafer. Hierdoor krijgt elk gebied dezelfde temperatuur. De compatibiliteit met schone werkomgevingen is ook belangrijk: in ruimtes van klasse 1–100 blijft het aantal deeltjes onder controle, omdat de lamp geen extra deeltjes produceert tijdens het proces. De korte infrarode straling verwarmt het substraat rechtstreeks, waardoor het productieproces snel verloopt en de energieverbruik minimaal blijft. De kwartsverpakking zorgt ervoor dat de temperatuur constant blijft, ongeacht de gebruikelijke temperatuurvereisten voor het verwerken van fotorezistent. De controlemechanismen zorgen er ook voor dat de ingestelde parameters consistent blijven, van shift tot shift.
Waarom dit nuttig is in de lithografie
In de lithografie helpt deze lamp om de temperatuur nauwkeurig onder controle te houden. Dit bevordert een constante lijndikte en vermindert het risico op herwerking. Het bereiken van de gewenste temperatuur gaat sneller, zonder dat dit negatieve gevolgen heeft voor de hechting van het fotorezistent. Bovendien zorgt het stabiele temperatuurprofiel voor een consistente kwaliteit van het eindproduct, zelfs bij grote productiesommen. Het resultaat is een betrouwbare prestatie: minder afgedankte wafers, lagere kosten en consistentie tussen verschillende machines.
Tips voor installatie en onderhoud
Voor de installatie moet de interface van de lamp goed worden afgestemd, en moet er worden gezorgd voor een goede luchtcirculatie, zodat de lampzone zich in een negatieve druk bevindt. De lamp is bedoeld voor 24/7 gebruik, maar net zoals alle precisietechnologieën, werkt de lamp het beste wanneer de stroomvoorziening en koeling goed zijn afgestemd op het vereiste vermogen. Het is belangrijk om regelmatig de lamp te vervangen, zodat de temperatuuruniformiteit op de lange termijn behouden blijft.