Op de productielijn kun je je niet verschuilen achter toleranties. Een afwijking van een halve graad op de warmtebron leidt tot variaties in de dikte van de lijnen op het siliciumplaatje, en dat resulteert in verspilde plaatjes. Wanneer de tijden die nodig zijn voor het soft-bake- en hard-bake-proces in seconden en graden worden gemeten, is er geen ruimte voor fouten. De IR-lamp moet stabiele en herhaalbare warmte leveren – anders werkt de lithografieproces niet goed.
Dit is wat technisch gezien belangrijk is: Onze aluminiumreflectoren voor IR-lampen zijn ontworpen met rekening gehouden met de thermische behoeften van halfgeleiders. Ze zorgen ervoor dat de uniformiteit op het siliciumplaatje binnen ±0,1°C blijft, zodat het energieverbruik overeenkomt met de vereisten van het proces. Het oppervlak is gepolijst en behandeld om uitgaande gassen en deeltjes te verminderen, zodat de zuiverheid op het gewenide niveau blijft. Herhaalbaarheid wordt bereikt door een stabiele reflectierende geometrie en constante emissiviteit. Hierdoor blijft de temperatuur altijd op het gewenste niveau.
Waarom dit werkt bij het verwerken van fotoresistenten: Tijdens het soft-bake-proces wordt de oplosmiddelen verwijderd en wordt de hechting tussen de verschillende lagen bevorderd. Tijdens het hard-bake-proces wordt het structuurpatroon van het polymeer vastgesteld, voordat er wordt geëtst of geïmplanteerd. Met deze reflectoren blijft het IR-verbruik constant, waardoor randproblemen worden verminderd en de controle over de afmetingen verbetert. Hierdoor zijn er minder herwerkingsacties nodig, minder afval en kortere verwerkingstijden. Het energieverbruik neemt af, omdat de reflectoren de IR-straling precies op de juiste plek richten, zonder energie te verspillen aan andere onderdelen van de kamer. De reflectoren zijn bedoeld voor 24/7 gebruik – apparaten die al meer dan 5.000 uur in bedrijf zijn, leveren nog steeds goede resultaten.
Kort samengevat: het werkt perfect.
De installatie vereist alleen maar dat de lamp en de reflector op de juiste manier worden gericht. De specificaties worden alleen bereikt als de lamp, de reflector en het substraat samen als één systeem worden gebruikt. Controleer de afstanden tussen de componenten en de geometrie van de kamer. Pas de reflector aan op de juiste IR-bron – kortegolf of middengolf – afhankelijk van de absorptie van het fotoresistent en de thermische eigenschappen. In omgevingen met hoge luchtvochtigheid moet men regelmatig controleren of de reflectiekracht nog goed is, zodat de uniformiteit op de lange termijn behouden blijft.