Op de FO-WLP-linie bepaalt de redistributielayer het tempo van het proces. Een temperatuurschommeling van maar 0,3°C op het oppervlak van de chip kan leiden tot spanningen, vervormingen van de mal en een lagere opbrengst. Er is dus een heater nodig die de thermische omstandigheden goed kan regelen – zonder speculaties.
Wat er echt toe doet We hebben deze heater ontworpen voor precisiekontrol van semiconductoren. De kern zorgt ervoor dat de temperatuur over het hele oppervlak van de chip constant blijft bij ±0,1°C. Hierdoor heeft elke chip dezelfde thermische omstandigheden tijdens het harden van het epoxymengsel, het verhitten van de fotoresist en het eindverhittingproces. De hete zone is geschikt voor gebruik in zuiveringsruimtes van klasse 1 tot 100. De oppervlakken en materialen zijn zo gekozen dat er zo min mogelijk deeltjes worden gegenereerd. Nul deeltjesgeneratie is geen slogan – dit is integraal onderdeel van de geometrie van de kamer, de afsluitingen en de ventilatielopen. Het systeem werkt 24/7 met hoge herhaalbaarheid. De thermische respons is zo ingesteld dat het proces snel kan worden uitgevoerd, zonder dat er overdreven temperaturen optreden.
Het belangrijkste is dat FO-WLP berust op nauwkeurige thermische processen: verhitten, harden, lamineren, herhalen. Met deze heater blijft de temperatuur tijdens het verhitten van de fotoresist constant, blijven de lijnen even breed en blijft de integriteit van de chip behouden. Hierdoor ontstaan er minder storingen door vervormingen en minder afval als gevolg van ongelijke temperaturen. Het lage thermische materiaalverbruik zorgt voor een snellere opwarmtijd, terwijl de stabiliteit behouden blijft. Dit resulteert in stabiele processen, voorspelbare opbrengsten en minder stilstanden veroorzaakt door problemen met de heater.
Een paar praktische tips voordat je de heater specificeert: de heater past zich aan de standaard FO-WLP-apparaten aan, maar je moet ervoor zorgen dat de afmetingen en de ventilatielopen overeenkomen met die van je machine. Houd rekening met de stroomstabiliteit in de zuiveringsruimte – spanningsschommelingen kunnen de instellingen veranderen en de consistentie verminderen. Reken op een korte inrichtingstijd om de PID-instellingen af te stemmen op je specifieke chipstructuur. Eenmaal ingesteld, blijft de temperatuur over het hele oppervlak van de chip constant, dag na dag.