Sicherstellung einer sauberen Umgebung: Beheizung in einem Reinraum der Klasse 100
Wenn man in einem Reinraum der Klasse 100 arbeitet, geht es beim Heizen nicht nur darum, die richtige Temperatur zu erreichen. Es handelt sich dabei vielmehr um einen Kampf gegen Partikel. Wenn man in einer Halbleiter- oder Medizinproduktfabrik arbeitet, kennt man die Konsequenzen. Ein winziger Staubkorn oder eine kleine Partikel vom Heizelement kann bereits ausreichen, um ganze Chargen von Wafern zu ruinieren. Das ist ein Albtraum.
Warum wir hochreinen Quarz verwenden
Wir verwenden für unsere Lampen hochreinen, geschmolzenen Siliziumquarz – schließlich können wir es uns nicht leisten, dass die Geräte selbst Abfallstoffe abgeben. Standardglas oder billiges Material eignet sich dafür nicht. Unter hohen Temperaturen können diese Materialien zerfallen und mikroskopisch kleine Siliziumstäube freisetzen. Unsere Lampen sind so konstruiert, dass sie starke Temperaturschwankungen aushalten können, ohne dass die Oberfläche beschädigt wird. Die Wärme wird somit gleichmäßig abgegeben – es entstehen keine Staubpartikel oder andere Abfallstoffe, die auf den Arbeitsbereich gelangen könnten.
Umgang mit Hitze und „Ablagerungen“
Es ist eine Herausforderung, die notwendigen Temperaturwerte zu erreichen, ohne dass der gesamte Reinraum überhitzt. Wir lösen dieses Problem, indem wir sehr präzise auf das Spektrum der ausgestrahlten Energie achten. Durch eine genauere Steuerung der Filamentzusammensetzung sowie eines besseren Vakuumschlosses können wir die „Eingewöhnungsphase“ optimieren und die lästigen Gase minimieren, die beim Erwärmen der Lampe entstehen.
Wichtiger Hinweis: Wenn man die Lampen mit maximaler Leistung betreibt, wird die Lüftungsanlage stark belastet. Wenn man höherleistungsstarke Lampen installiert, muss man sicherstellen, dass die Kühlsysteme und Filter mithalten können. Andernfalls entstehen Konvektionsströmungen, die wie kleine Vakuume wirken und Staubpartikel direkt auf die Werkstücke ziehen. Das ist natürlich nicht erwünscht.
Installation der Lampen
Wir haben diese Lampen so konstruiert, dass sie einfach als Ersatz für Ihre vorhandenen Beleuchtungssysteme eingesetzt werden können. Die Abdichtungen sind fest, und die Materialien reagieren nicht mit der Umgebungsluft. Bei der Verdrahtung sollten Sie sicherstellen, dass die Anschlüsse für die entsprechende Spannung geeignet sind. Arcos müssen unbedingt vermieden werden – denn das führt schnell zu Kohlenstoffkontaminationen in einem sterilen Raum.
Außerdem haben wir darauf geachtet, dass die Lampen eine kleine Größe haben. So bleibt mehr Platz im Produktionsraum – gleichzeitig bleibt genug Abstand zwischen dem Strahler und dem Substrat, damit nichts überhitzt. Einfach.