In der Herstellungslinie für flexible Displays ist die Trocknungsphase nicht einfach nur eine Pause – sie stellt vielmehr die Grenze zwischen einem funktionierenden Produkt und Ausschuss dar.
Wenn die Lampe an Leistung verliert, bleibt Lösungsmittel im Material zurück. Der Photoresist trocknet ungleichmäßig aus, und die Kontrolle über die Dicke des Films wird beeinträchtigt. Was dann folgt, sind Nacharbeiten, fehlerhafte Produkte sowie Verzögerungen bei der Fertigung. Wir haben diese Trockenungslampe genau für solche Situationen entwickelt.
Was wirklich wichtig ist
Wir nutzen kurzwelliges Infrarotlicht in einer Quarzkapsel. Dadurch wird schnell und gezielt Wärme abgegeben – ohne dass das Substrat beschädigt wird.
Die Heizelemente sind so eingestellt, dass eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf der gesamten Fläche des Substrats erreicht wird – ±0,1°C innerhalb der aktiven Zone. Dadurch erhält jede Charge dieselbe Wärmemenge. Der Gehäuseaufbau ist für Reinräume der Klasse 1–100 geeignet. Zudem sorgt das Design dafür, dass die Partikelanzahl auch während langer Trocknungsprozesse konstant bleibt. Die Einstellungen bleiben von Schicht zu Schicht, Tag für Tag konstant.
Warum die Lampe in Fabriken für flexible Displays geeignet ist
Es werden dünne Substrate sowie empfindliche organische Schichten verwendet – diese vertragen keine großen Temperaturschwankungen. Diese Lampe trocknet und heizt mit kontrollierter Geschwindigkeit, wodurch sowohl sanfte als auch intensive Heizprozesse möglich sind. Dadurch werden kritische Abmessungen sowie die Haftung der Schichten geschützt.
Das Ergebnis sind weniger Fehler, eine stabile Temperaturverteilung sowie eine hohe Produktqualität. Der Energieverbrauch sinkt, da die Lampe nur dann erhitzt wird, wenn es nötig ist – und die Temperatur wird konstant gehalten. Zudem sind die Komponenten für einen 24/7-Betrieb geeignet.
Ein paar Hinweise zur Anwendung
Die Installation ist unkompliziert – doch die thermische Verbindung zum Substrat erfordert genaue Einstellungen. Planen Sie daher, die Einstellungen einmal anzupassen, damit sie zu Ihrem Chuck-System sowie dem Substrat passen.
Die Lampe funktioniert gut mit Standardanschlüssen – doch aufgrund ihrer kompakten Bauform kann es zu kleinen Anpassungen in den Werkzeugen kommen. Führen Sie zunächst eine kurze Qualifizierungsprüfung durch, damit die Einstellungen festgelegt werden können. Sobald die Einstellungen festliegen, bleibt der Prozess konstant.