Hören Sie auf, Ihre Ausrüstung mit Hitze zu belasten – der Vorteil von goldbeschichteten Infrarotlampen
Wenn Sie schon einmal in einer Halbleiterfabrik gearbeitet haben, wissen Sie, welche Herausforderungen damit verbunden sind. Man muss die Wafer erhitzen – doch man möchte nicht, dass der Rest der Maschine dazu wird wie ein Ofen.
Die meisten Infrarotlampen strahlen Hitze in alle Richtungen ab – also in einem 360-Grad-Winkel. Das ist verschwenderisch. Schlimmer noch: Dadurch werden die Innenflächen der teuren Geräte gefährlich heiß.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden: Die Verwendung von goldbeschichteten, gerichteten Lampen.
Wie das „Spiegelprinzip“ funktioniert
Stellen Sie sich eine herkömmliche Quarzlampe vor. Sie strahlt Hitze in alle Richtungen ab. Stellen Sie sich nun vor, wir würden die hintere Hälfte dieser Lampe mit einer dünnen Schicht Gold überziehen. Dadurch wird die hintere Seite der Lampe zu einem Spiegel. Anstatt dass die Energie ins Gehäuse entweicht, wird sie direkt in Richtung des Zielbereichs geschickt.
Das Ergebnis? Ein konzentrierter Strahl von Hitze genau dort, wo er benötigt wird. Gleichzeitig bleibt die hintere Seite der Lampe relativ kühl. So müssen Sie keine riesigen Kühlfans oder dicke Isolierungen mehr verwenden, um zu verhindern, dass die Wände schmelzen.
Ein paar Dinge, die man beachten sollte
Es gibt einen Trade-off: Da der Strahl viel intensiver ist, kann man in der Regel die Gesamtleistung reduzieren und dennoch die gewünschte Temperatur erreichen.
Aber: Diese konzentrierte Energie trifft die Wafer mit großer Intensität. Sie müssen daher Ihre PID-Regler entsprechend anpassen. Andernfalls besteht die Gefahr, dass die Temperatur zu hoch wird und das Substrat beschädigt wird.
Wir verwenden hochreines Quarz für diese Lampen – damit das Gold nicht abblättert, wenn die Temperatur stark schwankt. Falls Sie diese Lampen in alte Geräte einbauen, überprüfen Sie unbedingt die Halterungen für die Lampen. Die Goldschicht vergrößert nämlich die Dicke der Halterungen etwas. Wenn die Lampe nicht perfekt sitzt, entstehen Hotspots auf dem Reflektor.
Warum das wichtig ist
Es geht nicht nur darum, etwas Geld bei den Stromkosten zu sparen – es geht auch darum, Verbrühungen zu vermeiden. Wenn das Gehäuse kühl bleibt, ist die Wartung für die Bediener viel einfacher. Zudem werden die internen Leitungen und Sensoren nicht ständig der Hitze ausgesetzt. Dadurch halten die Komponenten länger. Sie verbringen weniger Zeit damit, kaputte Teile zu reparieren, und mehr Zeit damit, den Produktionsprozess richtig zu betreiben.