Cara Memanfaatkan Kemampuan Pemanas di Meja Kerja Ruang Bersih Secara Optimum
Jika anda pernah menggunakan pemanas untuk memanaskan wafer silikon, pasti anda tahu betapa menyakitkannya pengalaman tersebut. Anda memasukkan tenaga ke dalam sistem tersebut, tetapi sebahagian besar tenaga tersebut hilang begitu saja. Tenaga tersebut meresap ke dalam badan mesin, sehingga menyebabkan pembaziran tenaga dan suhu mesin meningkat.
Itulah sebabnya kami menggunakan reflektor yang dilapisi emas. Walaupun ia kedengaran complex, sebenarnya ia sangat mudah: emas sangat efektif dalam memantulkan sinar inframerah. Daripada membiarkan haba tersebut tersebar ke segala arah, emas akan mengarahkan hampir setiap watt haba tersebut ke arah wafer.
Inilah cara fiziknya berfungsi.
Bayangkan lampu kuarsa biasa. Ia memancarkan haba ke semua arah – 360 darjah. Ini bermakna separuh daripada tenaga tersebut dihabiskan untuk tujuan yang tidak berguna. Dengan menggunakan reflektor yang dilapisi emas, kita dapat menangkap foton-foton yang bergerak ke arah belakang dan mengarahkannya kembali ke arah wafer. Dengan cara ini, haba yang dihasilkan menjadi lebih terkonsentrasi. Anda boleh mendapatkan kepadatan haba yang lebih tinggi tanpa perlu meningkatkan kuasa pemanas.
Butiran teknikal berkaitan reka bentuknya.
Kita tahu bahawa ruang di meja kerja ruang bersih sangat terhad, jadi lampu-lampu ini direka agar sesuai dengan ruang yang sempit. Kita menggunakan kuarsa berkualiti tinggi, kerana yang terakhir yang kita inginkan ialah pelepasan gas berbahaya di dalam ruang bersih.
Untuk lapisan emas pula, kita menggunakan kaedah deposisi vakum. Ini memastikan permukaannya menjadi seragam. Mengapa ini penting? Kerana sebarang ketidakseragaman pada permukaan akan menyebabkan “titik panas”. Titik-titik ini akan menyebabkan pemuaian haba yang tidak sekata, dan akibatnya wafer akan menjadi bengkok.
Beberapa perkara yang perlu diperhatikan.
Emas memang sangat efektif, tetapi ia juga mudah rosak. Anda tidak boleh menggunakan alat-alat kasar atau bahan kimia yang keras untuk membersihkan reflektor tersebut. Sebarang goresan pada lapisan emas akan menyebabkan kebocoran haba. Nasihat saya: jangan sentuh permukaan reflektor tersebut sama sekali.
Selain itu, perhatikan juga masa operasi pemanas tersebut. Kerana emas mampu memfokuskan haba dengan sangat efektif, suhu wafer akan meningkat dengan cepat berbanding jika menggunakan aluminium. Anda mungkin perlu menyesuaikan tetapan pengawal PID agar suhu wafer tidak melebihi had yang ditetapkan. Jika kipas penyejuk tidak mencukupi, anda akan melihat bahawa badan mesin menjadi lebih panas daripada biasa. Pastikan aliran udara berjalan dengan baik sebelum memulakan proses pemanasan.