Mengapa penggunaan pemanas inframerah merupakan cara yang paling sesuai untuk proses pengeringan tanpa bahan plumbum
Ketika membuat semikonduktor, “kebersihan” bukan sekadar tujuan biasa – ia merupakan syarat mutlak. Tidak boleh ada sedikit pun debu atau sisa kotoran yang boleh merosakkan wafer tersebut.
Untuk waktu yang lama, orang-orang menggunakan ketuhar konveksi untuk tujuan ini. Namun, sejujurnya, alat tersebut sangat tidak efisien. Ia mengeluarkan udara panas ke seluruh ruangan, dan pada dasarnya hanya memindahkan zarah-zarah kotoran di sekitar bilik bersih tersebut. Selain itu, memanaskan udara dalam ruangan yang besar juga merupakan pembaziran tenaga yang besar.
Itulah sebabnya kita menggunakan pemanas inframerah. Energi dipancarkan melalui radiasi elektromagnetik, bukan melalui udara. Energi tersebut sampai terus ke permukaan substrat, tanpa perlu melalui medium lain.
Ini semua tentang kecekapan.
Oleh kerana pemanas inframerah tidak membuang masa untuk memanaskan ruangan, ia dapat memanaskan bahan resin atau photoresist pada wafer tepat di tempat yang diperlukan. Masa yang diperlukan untuk proses pemanasan berkurangan dari jam-jam menjadi beberapa saat sahaja. Sangat cepat.
Selain itu, kerana tiada masalah berkaitan proses pembakaran atau peredaran udara, kita tidak perlu risau tentang kotoran yang mungkin masuk ke dalam kawasan kerja kita. Jika kita ingin mendapatkan sijil “tanpa pelepasan gas” atau “tanpa bahan plumbum”, ini merupakan cara yang paling efektif.
Kompromi yang perlu dipertimbangkan
Namun, pemanas inframerah ini memerlukan penjagaan yang rapi. Kita menggunakan kuarsa berkualiti tinggi serta filamen khusus agar tidak ada serpihan logam yang jatuh ke dalam lini pengeluaran.
Namun, kita perlu berhati-hati dengan perbezaan suhu yang berlaku. Pemanas inframerah sangat berkuasa. Jika wafer tidak bergerak dengan kelajuan yang tepat, ia boleh menyebabkan kawasan tertentu menjadi terlalu panas. Kita perlu menyesuaikan kelajuan konveyor dengan tepat, agar substrat tidak rosak. Jika kuasa yang digunakan terlalu tinggi tanpa adanya sistem penyejukan yang efektif, ia akan menyebabkan tekanan haba pada permukaan wafer. Ini memerlukan kemahiran yang tinggi untuk mengatasinya.
Kelebihan utama
Yang terbaik ialah ruang yang dapat disimpan semula. Kita boleh menggantikan ketuhar yang besar dengan sistem pemanasan modular. Tiada lagi saluran udara yang rumit atau kabel yang menyusahkan. Kita hanya perlu menyesuaikan panjang gelombang dan kepadatan tenaga untuk mendapatkan hasil pengeringan yang diinginkan.
Ini merupakan cara yang lebih efisien dan senyap untuk proses pengeringan, tanpa segala masalah yang timbul daripada sistem lama.