Pemanas inframerah yang serasi dengan vakum
Mendapatkan lebih banyak haba ke permukaan wafer (dan kurangkan haba yang sampai ke dinding peti vakum)
Ketika kita memanaskan wafer dalam keadaan...
Pemanas inframerah untuk bilik vakum
Di bilik pembakaran tersebut, langkah-langkah pembakaranlah yang menentukan keberkesanan proses tersebut. Sama ada pembakaran dilakukan dengan cara...