与真空环境兼容的红外加热器

如何让更多的热量作用于晶圆，同时减少对腔壁的加热 在真空环境下加热晶圆时，你实际上是在与物理定律作斗争。因为没有空气存在，所以无法依靠对流来传递热量，只能依靠辐射来加热晶圆。 问题在于：每一瓦特未被用于加热晶圆的能量都是浪费。这些能量最终会用来加热腔壁，从而给冷却系统带来更大的负担。这既浪费了能源...