Temiz oda koşullarında kullanılan ısıtıcıların en iyi şekilde kullanılması
Eğer daha önce silikon wafları ısıtmak için bu tür cihazları kullandıysanız, yaşanan zorlukları biliyorsunuzdur. Sistemye enerji gönderiyorsunuz, ancak bu enerjinin büyük bir kısmı boşa gidiyor. Enerji, cihazın gövdesine sızıyor ve böylece hem enerji israf ediliyor hem de tüm sistem aşırı ısınıyor.
İşte bu yüzden altın kaplamalı yansıtıcılar kullanıyoruz. Kulağa karmaşık geliyor gibi görünse de aslında oldukça basit: Altın, kızılötesi radyasyonu yansıtma konusunda son derece etkilidir. Böylece bu ısı, boşa harcanmak yerine doğrudan waflara yönlendirilmiş olur.
Fiziksel süreç nasıl işliyor?
Çıplak bir kuvars lambasını düşünün. Bu lamba ısıyı her yöne – yani 360 dereceye – yayar. Bu da enerjinizin yarısının yanlış yöne gittiği anlamına gelir. Altın kaplamalı parabolik yansıtıcılar sayesinde bu ışınlar geri yönlendirilir. Böylece dağınık olan ısı, yoğun ve odaklanmış bir ışına dönüşür. Böylece daha fazla ısı elde edilir ve wattaj artırılmasına gerek kalmaz.
Üretim süreci hakkında bilgiler
Bu tür cihazlarda alan sınırlı olduğundan, lambaların küçük alanlara sığacak şekilde tasarlandığından eminiz. Yüksek saflıkta kuvars kullanıyoruz; çünkü temiz odalarda istenmeyen şeylerden biri de gaz salınımıdır.
Altın uygulaması ise vakum deposyon yöntemiyle yapılır. Bu sayede yüzey mükemmel şekilde düzgün kalır. Peki bunun ne önemi var? Çünkü herhangi bir çıkıntı veya çukur “sıcak noktalar” oluşturur. Bu durum, eşitsiz termal genişlemeye yol açar ve waferiniz deforme olabilir.
Dikkat edilmesi gerekenler
Altın güçlü bir malzemedir, ancak aynı zamanda hassastır. Bu yansıtıcıları temizlemek için sert kimyasallar kullanmak doğru değildir. Altın kaplamanın üzerindeki herhangi bir çizik, ısı ışınının sızmasına neden olur. En iyi tavsiyem, yansıtıcı yüzeye dokunmamaktır.
Ayrıca, döngü sürelerine de dikkat etmelisiniz. Altın ısıyı çok yoğun şekilde odakladığı için waferinizin sıcaklığı alüminyum kullanıldığında olduğundan daha hızlı yükselir. Hedef sıcaklığa ulaşmamak için PID kontrol cihazlarını ayarlamanız gerekebilir. Eğer soğutma fanlarınız yeterli değilse, cihazın gövdesinin normalden daha fazla ısındığını fark edeceksiniz. Başlamadan önce hava akışını kontrol etmeniz iyi olur.