Neden IR ısıtma yöntemi, kurutma işlemleri için en uygun seçenektir?
Yarı iletken üretirken “temizlik” sadece bir hedef değil, her şeydir. Waflarınızda tek bir toz parçası bile olmamalıdır.
Uzun süre boyunca insanlar konveksiyon fırınlarından yararlandılar. Ama dürüst olmak gerekirse bu cihazlar oldukça verimsizdir. Zorla havayı her yere üflerler; bu da aslında toz parçacıklarını temiz oda içinde dolaştırmanın başka bir yoludur. Ayrıca, devasa bir hava odasını ısıtmak da büyük bir enerji israfıdır.
İşte bu yüzden infrared (IR) ısıtıcılar kullanılır. Hava yerine enerji, elektromanyetik radyasyon yoluyla iletilir. Enerji doğrudan substrata ulaşır; aracıya gerek yoktur.
Her şey verimlilikle ilgilidir.
IR ısıtıcılar, odayı ısıtmak için zaman kaybetmediğinden, reçineleri veya fotoresistleri tam olarak ihtiyaç duyulan yerde ısıtır. Böylece ısınma süresi saatlerden saniyelere düşer. Çok hızlıdır. Gerçekten çok hızlı.
Ayrıca, yanma veya hava dolaşımıyla uğraşmadığınız için, çalışma alanınıza kirleticilerin sızmasından endişelenmenize gerek yoktur. Eğer “sıfır emisyonlu” veya “kurşunsuz” sertifikaları elde etmek istiyorsanız, bu yöntem tek çözümdür.
Gerçek dünyadaki dezavantajlar
Bu ısıtıcıları inanılmaz derecede temiz şekilde üretiyoruz. Yüksek saflıkta kuvars ve özel filamanlar kullanıyoruz ki, üretim hattınıza metal parçacıkları bulaşmasın.
Ancak termal gradyanlara dikkat etmek gerekiyor. IR ısıtıcılar oldukça güçlüdür. Eğer waferiniz doğru hızda hareket etmezse, lokal olarak aşırı ısınmalar meydana gelebilir. Taşıyıcı sistemlerin zamanlamasını mükemmel şekilde ayarlamanız gerekir; aksi takdirde substrat hasar görebilir. Ayrıca, yeterli soğutma sistemi olmadan fazla güç kullanırsanız, waferin kenarlarında termal stres oluşabilir. Bu yüzden dikkatli olmak gerekir.
Alan tasarrufu
En iyi yanı ise elde edilen alan tasarrufudur. Devasa fırınların yerine modüler ısıtma sistemleri kullanılabilir. Artık karmaşık kanallar veya zorlu kablolar gerekmez. Sadece ihtiyacınız olan ısı profilini elde etmek için dalga boyunu ve güç yoğunluğunu ayarlamanız yeterlidir.
Eski sistemlerin tüm zorluklarından kaçınarak, daha verimli ve sessiz bir şekilde kurutma işlemi yapılabilir.