Ekipmanlarınızı Isıtmayı Bırakın: Altın Kaplamalı Kızıl Ötesi Lambaların Avantajları
Eğer yarı iletken üretim tesislerinde çalıştıysanız bu sorunu biliyorsunuzdur. Wafer’ı ısıtmak gerekiyor, ancak makinenizin geri kalan kısmının fırına dönüşmesini istemiyorsunuz.
Çoğu kızıl ötesi lamba, ısıyı her yöne yayar; yani 360 dereceye yakın bir alanı etkiler. Bu da israf demektir. Daha da kötüsü, bu durum pahalı ekipmanların iç kısımlarının dokunulduğunda tehlikeli derecede sıcak olmasına neden olur.
Biz ise bunu çözmek için altın kaplamalı kızıl ötesi lambalar kullanıyoruz.
“Ayna” Nasıl Çalışır?
Standart kuvars lambalarını düşünün; bunlar ısıyı her yöne yayar. Şimdi de bu lambanın arka kısmını ince bir altın tabakasıyla kapladığımızı hayal edin. Böylece lambanın arka kısmı bir aynaya dönüşür. Enerji artık şasiye sızmak yerine doğrudan hedefe yönlendirilir. Sonuç olarak, ihtiyacınız olan yerde yoğunlaştırılmış bir ısı demeti elde edersiniz. Aynı zamanda lambanın arka kısmı nispeten serin kalır. Böylece duvarların erimesini engellemek için büyük soğutma fanlarına veya kalın yalıtım malzemelerine ihtiyaç duymazsınız.
Dikkat Edilmesi Gereken Birkaç Şey
Burada bir denge söz konusu. Işın çok daha yoğun olduğundan, toplam gücü azaltarak yine de istenen sıcaklığa ulaşabilirsiniz. Ancak bu yoğun enerji wafer’a zarar verebilir. Bu yüzden PID kontrol cihazlarını ayarlamak gerekiyor. Aksi takdirde sıcaklık kontrolünü kaybedip substratın yanmasına neden olabilirsiniz.
Biz bu amaç için yüksek saflıkta kuvars kullanıyoruz; böylece sıcaklık değiştiklerinde altın tabaka dökülmez. Ayrıca, eski ekipmanlara bu lambaları takacaksanız lamba tutucularını mutlaka kontrol edin. Altın tabaka bir miktar kalınlık eklediğinden, lamba düzgün oturmazsa yansıtıcı üzerinde sıcak noktalar oluşabilir.
Bunun Neden Önemli Olduğu
İç duvarların serin kalması sadece elektrik tasarrufu sağlamakla ilgili değildir. Aynı zamanda yanıklardan kaçınmak içindir. Şasi serin kaldığında, operatörler için bakım işlemleri çok daha kolay hale gelir. Ayrıca, iç kablo ve sensörler sürekli aşırı ısıya maruz kalmaz. Böylece ekipmanlar daha uzun süre dayanır. Bozulan parçaları tamir etmek için harcanan zaman azalır ve işlemlerinizi daha verimli şekilde yürütebilirsiniz.