Wafer’inizin Isınmasından Maksimum Fayda Sağlama
Yarı iletken üretiminde kullanılan taşıma arabalarıyla uğraşırken sadece “bir şeyleri ısıtmaya” çalışmıyorsunuz. Asıl amaç, enerjiyi tam da gereken yere, yani wafer yüzeyine iletmektir.
Çoğu kişi standart kuvars lambalarını kullanır; ancak bu lambalar ısıyı her yöne yayar. Planlama yapılmadığında, gücün yarısı boşa harcanmış olur. Bu da açıkça bir enerji israfıdır.
İşte bu yüzden altın kaplı yansıtıcılar kullanıyoruz.
Altının sihri
Altın, kızılötesi dalga boyları için mükemmeldir. Bu enerjinin %98’inden fazlasını yansıtır. Gövdeye ince bir altın tabaka ekleyerek, fotonların etrafa saçılmasını engeller ve onları doğrudan wafer’e geri yansıtırız. Böylece dağınık ışık huzmesi, odaklanmış bir ışık huzmesine dönüşür. Böylece substrat üzerinde çok daha yüksek bir ısı yoğunluğu elde edilir; bu da işi tamamlamak için daha yüksek güç kullanmanız gerekmeyeceği anlamına gelir.
Hız vs. Kontrol
Buradaki en büyük avantaj hızdır. Hedef sıcaklıklara çok daha hızlı ulaşılır ve bu da rahatsız edici ısılanma süresini azaltır.
Ancak bir dezavantajı vardır: Enerji o kadar yoğunlaştığı için waferler hızla ısınır. Eğer PID kontrol cihazlarınız bu tür bir akım için ayarlanmamışsa, hedef sıcaklıkları aşabilirsiniz. Waferlerinizin kenarlarının yanmaması için sensör kalibrasyonunu tekrar kontrol etmeniz gerekir.
Temiz odalarda kullanım
Taşıma arabalarında alanın sınırlı olduğunu biliyoruz; bu yüzden boyutları mümkün olduğunca küçük tutuyoruz. Ayrıca altın tabakasını da sıkıca kaplıyoruz. Böylece ne dökülme olur, ne de metal tozu oluşur; temiz odanızda hiçbir kirlilik olmaz.
Ayrıca, elektrik faturasını da azaltır. Bu cihazları elektrik şebekesine bağladığınızda, amper tüketiminin düştüğünü göreceksiniz; aynı zamanda yüzey sıcaklığı da tam olarak istenen seviyede kalır. Bu da tesisinizin elektrik altyapısına binen yükü hafifletmenin basit bir yoludur.