Waarom IR-koeling alleen zinvol is voor het drogen van leidvrije materialen
Bij de productie van halfgeleiders is ‘schoonheid’ niet alleen een doel – het is zelfs essentieel. Er mag geen enkel stofdeeltje of residu aanwezig zijn dat de schijven kan beschadigen.
Lang gebruikten mensen conventionele ovenwerelden. Maar eerlijk gezegd: die apparaten zijn omslachtig. Ze blazen lucht overal naartoe, wat in feite gewoon een manier is om stofdeeltjes rond te laten zweven in de zuiverruimte. Bovendien is het erg energieverspillend om een grote ruimte met lucht op te warmen.
Daarom gebruiken we infrarode (IR-)verwarmers. In plaats van de lucht op te warmen, wordt de energie via elektromagnetische straling overgedragen. De energie bereikt rechtstreeks het materiaal op de schijf – zonder tussenkomst van lucht. Het gaat om efficiëntie.
Omdat IR geen tijd verspilt door de ruimte op te warmen, bereikt de energie precies de plekken waar het nodig is. Dit betekent dat de tijd die nodig is om de schijven op te warmen, kan worden verkort van uren tot seconden. Het is snel – echt snel.
Omdat er geen sprake is van verbranding of luchtcirculatie, hoef je je geen zorgen te maken over vervuilende stoffen die in de werkomgeving terechtkomen. Als je ‘nul-uitstoot’ of ‘leidvrije’ certificaten wilt behalen, is dit eigenlijk de enige manier om dit te bereiken.
De praktische nadelen
We bouwen deze verwarmer zo schoon mogelijk. We gebruiken hoogwaardig kwarts en gespecialiseerde filamenten, zodat er geen metalen deeltjes op de productielijn terechtkomen.
Maar je moet wel goed opletten met de thermische verschillen. IR is zeer krachtig. Als de schijf niet op de juiste snelheid beweegt, kunnen er lokale hittepunten ontstaan. Je moet de snelheid van de transportband perfect instellen, anders kan het materiaal beschadigen. En als je de vermogenssterkte te hoog instelt, zonder dat er voldoende koeling is, kan dit leiden tot thermische spanningen aan de randen van de schijf. Het vereist dus wat precisie.
Meer ruimte beschikbaar
Het beste aan deze oplossing is dat je veel meer ruimte krijgt. Je kunt een enorme oven vervangen door een modulaire verwarmingseenheid. Geen ingewikkelde leidingen of moeilijk te bedienen installaties meer. Je kunt eenvoudig de golflengte en vermogensdichtheid aanpassen om het gewenste droogproces te bereiken.
Het is een efficiëntere en stillere manier om materiaal te drogen, zonder al de nadelen van de oude systemen.