Op de productielijn zijn de bakstappen cruciaal voor het succesvolle proces. Of het nu om een zachte of harde bak gaat: een verschil van 5°C kan al tot problemen leiden bij het bepalen van de benodigde temperatuur. Als de verhitters tijdens het proces deeltjes afgeven, kan dat ernstige gevolgen hebben. Infraroodverhitters in vacuümkammers verminderen dit risico, omdat ze schone thermische energie snel en precies op de juiste plek leveren.
Wat belangrijk is onder de kap
Wij gebruiken kortegolflange NIR-bronnen die zich in kwartsomhulsels bevinden. Hierdoor wordt de energie rechtstreeks naar het doel gestuurd. Dit zorgt voor een lage thermische inertie. Tijdens het hele proces blijft de uniformiteit op het niveau van ±0,1°C. De herhaalbaarheid is zo goed dat de gewenste temperatuur behouden blijft, zelfs wanneer de belasting van de kamer verandert. Het systeem is ontworpen voor schoonruimtes van klasse 1–100 en zorgt ervoor dat er geen deeltjes vrijkomen. Het systeem kan 24/7 draaien zonder problemen. De thermische energie wordt gestuurd met behulp van stabiele en herhaalbare uitgangssignalen, zodat de eigenschappen van de fotoresist consistent blijven.
Waarom dit werkt in de lithografie
Bij lithografie is het belangrijk dat de warmte snel wordt geleverd, op constante hoogte blijft en geen vervuiling veroorzaakt. Deze verhitters bereiken de gewenste temperatuur sneller dan conventionele verhitters. Hierdoor wordt de tijd die nodig is voor het proces verkort, zonder dat de chemie van de fotoresist wordt aangetast. Het schone energieprofiel zorgt er bovendien voor dat er minder deeltjes vrijkomen. De nauwkeurige temperatuurregeling zorgt weer voor een betere uniformiteit. Ook het energieverbruik neemt af, omdat de energie op vraag wordt geleverd, met minimale verliezen. Bovendien worden de onderhoudsintervallen langer door het solide ontwerp van de componenten.
Wat je moet letten op
De installatie vereist dat de interface, de stroomvoorziening en de koeling worden aangepast aan de specificaties van de apparatuur. De verhitter presteert het beste wanneer de belasting van de kamer stabiel is en het optische pad schoon blijft. Controleer regelmatig het raam om de uniformiteit in de gaten te houden. Als alles goed is ingesteld, voldoet het apparaat aan de internationale standaarden voor semiconductieapparatuur. Het is dus een geschikte alternatief voor de complexe thermische processen die nodig zijn in de lithografie.