진공 환경에서도 사용 가능한 적외선 히터

웨이퍼에 더 많은 열을 공급하고, 벽면에는 적은 열이 가도록 하기 위해서는 어떻게 해야 할까요? 진공 상태에서 웨이퍼를 가열할 때는 물리적 법칙과 싸우는 것과 같습니다. 공기가 없으므로 대류 현상을 이용할 수 없습니다. 따라서 방사능을 이용할 수밖에 없습니다. 문제는...