ウェーハを洗浄する際には、時間との戦いです。できるだけ早く水分を除去しなければなりませんが、熱を強く当てすぎると基板が損傷してしまいます。
この問題を解決するために、私たちは防水機能付きの赤外線ランプを使用します。しかし、本当の鍵となるのは、金でコーティングされた反射板です。これがなければ、多くの熱エネルギーが機械の筐体内に失われてしまいます。それは無駄な電力消費であり、時間の無駄でもあります。
なぜ金か？
一般的にはアルミニウム製の反射板が使われますが、これでは赤外線エネルギーを余りにも多く吸収してしまいます。一方、金は全く異なります。近赤外線光を効率的にウェーハに戻すことができます。つまり、エネルギーを集中させることができるのです。単にランプを増やして電気代を上げるのではなく、既存のランプをより効果的に使うことができます。そうすれば、必要な場所により強烈な熱を与えることができます。
汚れの対処
問題は、これらのランプが湿った環境に置かれている点です。水は至る所にあり、簡単に内部に入り込んでしまいます。もし水分がクォーツケースの中に入ってしまうと、ランプは壊れてしまいます。本来の寿命よりも早く壊れてしまうのです。だからこそ、特に配線が接続部に接する箇所のシールには細心の注意を払います。シールが完璧でなければ、短路が起きて生産性が低下してしまいます。
現実的なトレードオフ
正直に言うと、金は安くありません。初期投資は、研磨済みのアルミニウムを使う場合よりも高くなります。しかし、目標温度に到達した後も電力消費が抑えられるため、将来的にはコストを節約できます。ただし、定期的に清掃を行う必要があります。エネルギーを効率的に利用し、ウェーハを守るためには、少し手間をかける必要があります。