クリーンな環境を維持する：クラス100のクリーンルームにおける加熱処理
クラス100のクリーンルームで作業を行う際、加熱というのは単に適切な温度を保つことだけではありません。実際には、微粒子と戦うことでもあります。半導体や医療機器の製造を行っている方なら、その重要性がよくわかるでしょう。わずかな微量の汚れやほこりでも、一回の工程全体を台無しにしてしまいます。本当に悪夢のようです。
なぜ高純度の石英を使用するのか
私たちは、装置自体から汚れが出ないように、高純度の融成シリカ石英をランプに使用しています。普通のガラスや安価な素材では不十分です。高温下では、これらの材料が分解され、微細なシリカの粉が空気中に飛び散ってしまいます。私たちのランプは、急激な温度変化にも耐えられ、表面が劣化しないように設計されています。そうすれば、汚れやほこりが作業面に付着することはありません。
熱と「ガス放出」の問題への対処
クリーンルーム全体を壊さずに必要な温度に到達させるには、バランスを取る必要があります。私たちは、スペクトルを正確に調整することでこれに対処しています。フィラメントの組成や真空封止を厳格に管理することで、「燃焼」時に発生する不要なガスを最小限に抑えています。
ただし、注意点があります。ランプの出力を最大限に上げると、HVACシステムに負担がかかります。高出力のランプを設置する場合は、冷却やフィルタリング機能が十分に機能するかを必ず確認してください。熱が蓄積されると、対流が発生し、床面の汚れが直接作業面に持ち上がってしまいます。良くありません。
設置方法
これらのランプは、既存の加熱装置に簡単に交換できるように設計されています。密封性が高く、材料も周囲の環境と反応しません。配線する際は、コネクタが適切な電圧に対応しているかを確認してください。アークが発生するのを避けることが重要です。それは、無菌空間内での炭素汚染の原因になります。また、サイズも小さくしてあります。そうすれば、工場の床面に余裕が生まれ、エミッターと基材の間にも十分な距離があり、過熱することもありません。シンプルです。