装置を壊すのをやめよう：金メッキ処理を施したIRランプの利点
半導体製造工場で働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。ウェーハを高温にする必要がありますが、装置全体をオーブンのようにしてしまっては困ります。
ほとんどの赤外線ランプは、360度全方位に熱を放出します。これは無駄なエネルギーの浪費です。さらに悪いことに、高価な装置の内部が危険なほど高温になってしまいます。
私たちは、金メッキ処理を施した指向性ランプを使うことで、この問題を解決しました。
「鏡」の仕組み
通常の石英ランプは、全方位に熱を放射します。では、その管の後ろ半分に薄い金の層を塗ったと想像してみてください。そうすると、ランプの後ろ側が鏡のように機能します。エネルギーが装置の内部に漏れ出す代わりに、直接ターゲット方向に向けて送られます。その結果、必要な場所に集中した熱が得られます。一方で、ランプの後ろ側は比較的低温のままです。つまり、壁が溶けないように巨大な冷却ファンや厚い断熱材を使う必要がなくなります。
注意点
ただし、ビームの強度が高くなるため、全体的なワット数を下げても目的の温度に到達できます。しかし、集中したエネルギーがウェーハに強く作用するため、PIDコントローラーの設定を調整する必要があります。そうしないと、温度が上がりすぎて基板上の部品が焼損する可能性があります。
私たちは高純度の石英を使用しているため、温度が変動しても金が剥がれ落ちることはありません。また、古い装置にこのランプを取り付ける場合は、ランプホルダーをしっかり確認してください。金の層があるため、ランプが正しく固定されていないと、反射板に熱の集中点ができてしまいます。
なぜこれが重要なのか
内壁を冷やすことは、単に電気代を節約するためだけではありません。人が火傷しないためでもあります。装置の内部が冷たく保たれていれば、保守作業もずっと楽になります。また、内部の配線やセンサーも常に高温にさらされることがありません。その結果、部品の寿命も長くなります。故障した部品の修理に費やす時間も減り、実際にプロセスを進める時間が増えます。