ウェーハ加工ツール用温度センサー

ファブの現場では、焼成温度がわずか0.5度変動しても、ウェーハの寸法にナノメートル単位の影響が出ます。そうなると、そのウェーハは廃棄処分されてしまいます。ウェーハ用の温度センサーは単なる付加装置ではありません。これらのセンサーは、リソグラフィーやフォトレジストのソフトベイク、ハードベイク、そしてウ...