अपने क्लीन रूम में उपयोग होने वाले हीटिंग उपकरणों से अधिकतम लाभ प्राप्त करने हेतु…
यदि आपने कभी सिलिकॉन वेफरों को गर्म करने हेतु ऐसे उपकरणों का उपयोग किया है, तो आपको उसकी परेशानीों का अंदाजा होगा। आप सिस्टम में ऊर्जा डालते हैं, लेकिन उसमें से बहुत ही अधिक ऊर्जा बेकार ही चली जाती है। ऐसे में पूरा सिस्टम गर्म हो जाता है।
इसी कारण हम सोने से ढके रिफ्लेक्टरों का उपयोग करते हैं। यह तो बहुत ही सरल तरीका है – सोना इन्फ्रारेड विकिरण को परावर्तित करने में बेहतरीन है। इस तरह, ऊर्जा बेकार ही नहीं जाती, बल्कि सीधे ही वेफर पर पहुँच जाती है।
वास्तव में यह कैसे काम करता है?
कल्पना कीजिए कि कोई साधारण क्वार्ट्ज लैंप है… वह हर दिशा में ही ऊष्मा फैलाता है – 360 डिग्री में। इसका मतलब है कि आपकी ऊर्जा का आधा हिस्सा तो बेकार ही चला जाता है। लेकिन सोने से ढके रिफ्लेक्टरों के उपयोग से हम उस ऊर्जा को वापस वेफर पर ही भेज सकते हैं। इस तरह, आपको अधिक ऊष्मा प्राप्त होती है, बिना अधिक ऊर्जा की आवश्यकता के।
निर्माण संबंधी जानकारी:
हमें पता है कि ऐसे उपकरणों में जगह बहुत ही कम होती है… इसलिए ऐसे लैंपों को छोटे आकार में ही डिज़ाइन किया गया है। हम उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि क्लीन रूम में तो किसी भी तरह के गैस उत्सर्जन की अनुमति ही नहीं है।
सोने का उपयोग:
सोने को वैक्यूम डिपोजिशन विधि से ही लगाया जाता है… इससे सतह पूरी तरह समान रहती है। ऐसा क्यों आवश्यक है? क्योंकि किसी भी तरह की खरोंच से “हॉट स्पॉट” बन जाते हैं… और ऐसे स्थानों पर ऊष्मा असमान रूप से ही वितरित होती है… जिससे वेफर विकृत हो जाता है।
कुछ बातें ध्यान में रखें:
सोना तो बहुत ही शक्तिशाली है… लेकिन यह बहुत ही संवेदनशील भी है। आप ऐसे रिफ्लेक्टरों पर किसी भी तरह के केमिकलों का उपयोग नहीं कर सकते… क्योंकि ऐसा करने से सोने की सतह पर खरोंच आ जाएगी… और ऐसी स्थिति में ऊष्मा बेकार ही चली जाएगी। मेरी सलाह है कि ऐसी सतहों को बिल्कुल भी छूना नहीं चाहिए।
इसके अलावा, अपने साइकल टाइम पर भी ध्यान दें… क्योंकि सोना ऊष्मा को बहुत ही तेज़ी से केंद्रित करता है… इसलिए वेफर का तापमान भी बहुत ही तेज़ी से बढ़ जाता है। आपको अपने PID कंट्रोलरों को ठीक से सेट करना होगा… ताकि तापमान नियंत्रण में रहे। और यदि आपके कूलिंग फैन पर्याप्त न हों, तो आपको पता चलेगा कि उपकरण का आवरण सामान्य से अधिक गर्म हो रहा है… इसलिए शुरू करने से पहले ही अपने एयरफ्लो की जाँच जरूर करें।