अपने उपकरणों को गर्म करना बंद करें: गोल्ड-कोटेड आईआर लैंपों का उपयोग
यदि आपने सेमीकंडक्टर निर्माण संयंत्रों में काम किया है, तो आपको इस समस्या का अहसास होगा। आपको वेफर को गर्म करने की आवश्यकता है, लेकिन आप नहीं चाहते कि आपके उपकरणों का बाकी हिस्सा भी गर्म हो जाए।
अधिकांश इन्फ्रारेड लैंप, ऊष्मा को हर दिशा में फैला देते हैं… यह बेकार है। इसके अलावा, ऐसे लैंपों की वजह से आपके महंगे उपकरणों का अंदरूनी हिस्सा बहुत गर्म हो जाता है।
हमने इस समस्या को हल करने हेतु गोल्ड-कोटेड लैंपों का उपयोग किया।
“दर्पण” कैसे काम करता है?
एक सामान्य क्वार्ट्ज लैंप के बारे में सोचें… यह हर दिशा में ऊष्मा फैलाता है। अब, कल्पना करें कि हम उस लैंप के पिछले हिस्से पर पतली सुनहरी परत लगा देते हैं… ऐसे में लैंप का पिछला हिस्सा एक “दर्पण” की तरह काम करता है। ऊष्मा सीधे लक्ष्य तक पहुँच जाती है… इस तरह आपको वांछित स्थान पर ही ऊष्मा मिलती है। इसके अलावा, लैंप का पिछला हिस्सा अपेक्षाकृत ठंडा ही रहता है। अब आपको उपकरणों को ठंडा रखने हेतु बड़े एयर कंडीशनरों या मोटी इन्सुलेशन पर्दों की आवश्यकता नहीं है।
कुछ बातें ध्यान में रखें…
इस विधि का एक नुकसान यह है कि चूँकि ऊष्मा की तीव्रता बहुत अधिक होती है, इसलिए आपको कुल वॉटेज को कम करने की आवश्यकता है… लेकिन ऐसा करने से वेफर पर अत्यधिक दबाव पड़ सकता है… इसलिए आपको PID कंट्रोलरों को ठीक से समायोजित करने की आवश्यकता है… अन्यथा वेफर नष्ट हो सकता है।
हम इन लैंपों हेतु उच्च शुद्धता वाला क्वार्ट्ज ही उपयोग में लाते हैं… ताकि तापमान में परिवर्तन होने पर भी सुनहरी परत न टूटे… इसके अलावा, यदि आप इन लैंपों को पुराने उपकरणों में उपयोग में ला रहे हैं, तो लैंप होल्डरों की जाँच अवश्य करें… सुनहरी परत की वजह से लैंप की स्थिति सही न होने पर रिफ्लेक्टर पर गर्म बिंदु बन सकते हैं।
यह क्यों महत्वपूर्ण है?
उपकरणों की आंतरिक दीवारों को ठंडा रखना केवल बिजली की बचत हेतु ही नहीं, बल्कि उपकरणों को नष्ट होने से बचाने हेतु भी आवश्यक है… जब उपकरण ठंडे रहते हैं, तो उनकी देखभाल करना आसान हो जाता है… इसके अलावा, उपकरणों के आंतरिक तार एवं सेंसर भी गर्मी के कारण नष्ट नहीं होते… इस तरह उपकरण लंबे समय तक काम करते रहते हैं… आपको टूटे हुए उपकरणों की मरम्मत में कम समय खर्च करना पड़ता है… एवं आप अपनी प्रक्रियाओं को ठीक से चलाने में अधिक समय व्यतीत कर सकते हैं।