वॉफ़र को अंतिम रिंस से बाहर आते देखें। यदि ड्राइंग स्टेप सही से नहीं किया गया, तो वॉटरमार्क बनते हैं, फोटोरेसिस्ट के अंडरलेयर्स डेलैमिनेट होने लगते हैं, और यील्ड प्रभावित होती है। हमने अपना सिलिकॉन वॉफ़र ड्राइंग इन्फ्रारेड लैंप इस वेरिएबल को खत्म करने के लिए बनाया है।
जो महत्वपूर्ण है
यह शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड का उपयोग करता है ताकि ऊर्जा सीधे फिल्म और सब्सट्रेट में डाली जा सके। बेक ज़ोन में, वॉफ़र-लेवल यूनिफॉर्मिटी ±0.1°C के भीतर बनी रहती है, इसलिए जरूरी तापमान—सॉफ्ट बेक, हार्ड बेक, और पोस्ट-बेक—हर रन में दोहराए जा सकते हैं।
यह क्लीनरूम्स में Class 1 से Class 100 तक फिट बैठता है। क्वार्ट्ज एनवेलोप और कम आउटगैसिंग फिटिंग्स से पार्टिकल काउंट बढ़ने से रोका जाता है। आउटपुट 5,000+ घंटे तक स्थिर रहता है, 5% से कम इंटेंसिटी ड्रिफ्ट के साथ, इसलिए यह 24/7 ऑपरेशन संभाल सकता है।
फ्लोर के लिए उपयुक्त क्यों है
लिथोग्राफी में, फोटोरेसिस्ट प्रोसेसिंग की थर्मल बजट कड़ा होता है। यह लैंप सेकंडों में टारगेट तापमान पर पहुंचता है, और सेट्लिंग तेज होती है—सायकल टाइम कम करता है बिना प्रोफाइल कंट्रोल को छोड़े।
पैकेजिंग में, वही ऊर्जा घनत्व एनकैप्सुलेंट और अंडरफिल क्यूरिंग को तेज करता है, जो ओवन लोड कम करता है और इंतजार का समय घटाता है। क्लीनिंग और ड्राइंग के लिए, इन्फ्रारेड ऊर्जा माइक्रोस्ट्रक्चर्स से अवशिष्ट नमी निकालती है, जिससे सतह सूखी और अवशेष मुक्त रहती है।
इसका परिणाम कम रिवर्क्स, स्थिर लाइनविड्थ, और भरोसेमंद अडहेशन के रूप में मिलता है।
सही करने के लिए आवश्यक बातें
इंस्टॉलेशन लैंप को आपकी मशीन के साथ मेल खाने पर निर्भर करता है—वोल्टेज, कनेक्टर, और ऑप्टिकल एपर्चर। रिफ्लेक्शन ज्योमेट्री को इस तरह से ट्यून करना होता है कि पैटर्न वाले वॉफ़र्स पर हॉट स्पॉट न बनें।
साफ-सफाई का ध्यान रखें और लंबे अभियानों में यूनिफॉर्मिटी बनाए रखने के लिए इंटेंसिटी कैलिब्रेशन का शेड्यूल बनाएं। जब यह सही से संरेखित होता है, तो प्रोसेस न्यूनतम समायोजन के साथ स्पेसिफिकेशन में रहता है।