सिलिकॉन वेफर सुखाने वाला इन्फ्रारेड लैंप

वॉफ़र को अंतिम रिंस से बाहर आते देखें। यदि ड्राइंग स्टेप सही से नहीं किया गया, तो वॉटरमार्क बनते हैं, फोटोरेसिस्ट के अंडरलेयर्स डेलैमिनेट होने लगते...