Die richtige Temperatur beim Spülen der Wafer erreichen
Beim Spülen der Wafer muss man im Grunde genommen gegen die Zeit kämpfen. Die Feuchtigkeit muss schnell beseitigt werden – doch man kann nicht einfach Hitze einsetzen, sonst wird das Substrat beschädigt.
Um das zu erreichen, verwenden wir wasserdichte Infrarotlampen. Doch das eigentliche Geheimnis liegen in den mit Gold überzogenen Reflektoren. Ohne sie geht viel der Wärmeenergie einfach verloren – das ist Energie- und Zeitschwendung.
Warum Gold?
Die meisten Menschen beginnen mit Aluminiumreflektoren – doch diese nehmen viel zu viel Infrarotenergie auf. Gold hingegen ist äußerst effektiv darin, das nahinfrarote Licht direkt dorthin zurückzuschicken, wo es hinmuss: auf die Wafer.
Man kann es sich wie eine Fokussierung der Energie vorstellen. Anstatt einfach mehr Lampen einzusetzen und damit die Stromrechnung in die Höhe zu treiben, lässt man die bereits vorhandenen Lampen effektiver arbeiten. So erhält man eine intensivere Wärmeeinwirkung genau dort, wo sie benötigt wird.
Umgang mit dem Schmutz
Diese Lampen befinden sich in einer feuchten Umgebung. Überall gibt es Wasser – und dieses versucht, in die Lampen einzudringen. Wenn Feuchtigkeit in den Quarzkörper der Lampe eindringt, ist die Lampe ruiniert. Sie geht viel früher kaputt, als eigentlich nötig wäre. Deshalb achten wir besonders darauf, dass die Dichtungen intakt bleiben – insbesondere an den Stellen, wo die Kabel mit den Steckern verbunden sind. Wenn diese Dichtungen nicht perfekt sind, wartet man nur darauf, dass ein Kurzschluss entsteht und die Produktivität beeinträchtigt wird.
Die Realitätsabwägung
Seien wir ehrlich – Gold ist nicht billig. Die Anfangskosten werden höher sein als bei poliertem Aluminium. Doch man spart später Geld, denn der Stromverbrauch bleibt niedrig, selbst wenn man die gewünschten Temperaturen erreicht.
Nur eine Warnung: Man muss diese Lampen ständig sauber halten. Wenn Chemikalien anhaften oder das Gold oxidiert, sinkt die Reflexionsfähigkeit. Dann muss man die Leistung erhöhen, um auszugleichen – und dadurch werden die Wafer beschädigt.
Halten Sie sich an einen strengen Reinigungsplan. Es kostet zwar etwas Mühe, aber so können Sie die Energie effektiv nutzen und Ihre Wafer schützen.