Bei der Fotolackverarbeitung lässt der Fotolack keine Abweichungen zu. Selbst eine leichte Ungenauigkeit bei der Erhitzung führt dazu, dass die Kontrolle über die CD-Qualität beeinträchtigt wird – man muss dann nach Fehlern im gesamten Produktionsprozess suchen. Wir haben daher eine spezielle Lampe entwickelt, die diese Unregelmäßigkeiten ausgleicht.
Was wirklich wichtig ist:
Es wird eine Temperaturhomogenität von ±0,1 °C auf der gesamten Fläche des Wafers erreicht – somit erhält jedes Bearbeitungsfeld denselben thermischen Zustand. Die Kompatibilität mit Reinräumen ist selbstverständlich – Räume der Klasse 1–100 bleiben frei von Partikeln, da die Anlage während des Aufheizvorgangs keine Partikel freisetzt. Das Kurzwellinfrarotlicht heizt das Substrat direkt, wodurch eine schnelle Aufwärmzeit entsteht und der Energieverbrauch sinkt. Der in Quarz eingeschlossene Strahler hält die gewünschten Temperaturen konstant, und der Regelkreis sorgt dafür, dass die Einstellungen von Schicht zu Schicht konstant bleiben.
Warum das in der Lithografie nützlich ist:
Durch die stabile Temperaturkontrolle wird die Genauigkeit der Linienbreiten gewährleistet – dadurch reduzieren sich Nachbearbeitungen. Der Übergang zur gewünschten Temperatur erfolgt schneller, ohne dass die Haftfestigkeit des Fotolacks beeinträchtigt wird. Das stabile Temperaturprofil sorgt außerdem für eine konstante Qualität bei großen Produktionsmengen. Die Vorteile sind klar: weniger Ausschussware, niedrigere Kosten sowie konstante Leistung zwischen den Maschinen im Werk.
Hinweise zur Installation und Wartung:
Bei der Installation muss die Schnittstelle der Anlage korrekt angepasst werden, außerdem muss sichergestellt werden, dass die Ausgasung ordnungsgemäß abläuft, damit im Bereich der Lampe ein Unterdruck herrscht. Die Lampe ist für eine 24/7-Nutzung geeignet – doch wie jede präzise Wärmequelle funktioniert sie am besten, wenn die Stromversorgung und Kühlung auf die erforderlichen Belastungen abgestimmt sind. Regelmäßige Ersetzung der Lampe ist notwendig, um über einen langen Zeitraum hinweg eine konstante Qualität zu gewährleisten.