Auf der Wafer-Produktionsfläche ist die Temperatur beim Erhitzen des Fotolacks keine Empfehlung – sie ist vielmehr eine festgelegte Spezifikation. Wenn die Temperatur um ein halbes Grad abweicht, kann das dazu führen, dass sich die CDs verschieben. Das bedeutet höhere Kosten durch Ausschuss und Nacharbeiten. Deshalb gibt es Leuchten mit dimmbarem Halbleiterheizer: Damit wird die thermische Stabilität gewährleistet.
Was technisch wichtig ist:
Wir haben diese Lampe so konzipiert, dass sie eine schnelle, wiederholbare Erwärmung mit hoher Homogenität ermöglicht. Der Kurzwellen-Infrarotstrahler wird nur dann aktiv, wenn es nötig ist. Die Schließschleifensteuerung sorgt dafür, dass die Temperatur innerhalb von ±0,1°C konstant bleibt. Durch das Dimmen kann die Leistung genau gesteuert werden – ohne dass es zu thermischen Überschlägen kommt. So können die verschiedenen Schritte des Herstellungsprozesses genau eingehalten werden – ohne dass Hardware ausgetauscht werden muss.
Die Quarzkapsel sowie die Bauweise, die einer Reinraumumgebung entspricht, machen die Lampe für Umgebungen der Klassen 1–100 geeignet. Dabei entstehen während des Betriebs kaum Gase und keine Partikel.
Warum es in der Lithografie funktioniert:
In der Lithografie und bei der Verarbeitung von Fotolacken hängt die Qualität vom konstanten thermischen Verhalten ab. Diese Lampe reduziert die Schwankungen innerhalb einer Charge und verbessert die Wiederholbarkeit zwischen verschiedenen Chargen – dadurch sinkt die Defektdichte. Es gibt weniger Abweichungen, eine höhere Erfolgsrate bei der ersten Bearbeitungsschritt und weniger unplanmäßige Stillstände.
Außerdem sinkt der Energieverbrauch. Die Lampe verbraucht nur so viel Energie, wie es für den jeweiligen Prozess benötigt wird – nicht die volle Leistung.
Praktische Details:
Die Lampe passt in standardmäßige Halbleiter-Hitzebehandlungsanlagen. Doch bei der Integration muss man auf die thermische Masse sowie die Position der Sensoren achten. Man muss die Lampe so an die Geometrie der Kammer anpassen, damit die gewünschte Homogenität erreicht wird.
Außerdem muss der Antrieb geerdet sein, um Messfehler zu vermeiden. Planen Sie den Einbau entsprechend Ihrer Zeitvorgaben – die Einbauzeit ist zwar kurz, doch die Justierung und Kalibrierung sind entscheidend.