Správné ohřevání waferů při jejich oplachování
Při oplachování waferů v podstatě bojujete s časem. Je potřeba co nejrychleji odstranit veškerou vlhkost – ale nemůžete na ně prostě působit vysokým teplem, jinak poškodíte substrát.
Aby to fungovalo, používáme vodotěsné infračervené lampy. Ale skutečným tajemstvím jsou zrcadla pokrytá zlatem. Bez nich velká část této tepelné energie prostě zmizí do těla stroje. To znamená plýtvání energií a časem.
Proč zlato?
Většina lidí začíná s hliníkovými zrcadly, ale ty pohlcují příliš mnoho infračervené energie. Zlato je jiné – je opravdu účinné při odrážení blízkofialového světla zpět tam, kam patří – na wafer.
Můžete si to představit jako zaměřování energie. Místo toho, abyste použili více lamp a zvyšovali tak náklady na elektřinu, necháváte lampy, které už máte, pracovat efektivněji. Tak dosáhnete intenzivnějšího ohřevu právě tam, kde je to potřeba.
Řešení problémů spojených s vlhkostí
Tyto lampy pracují v vlhkém prostředí. Voda je všude kolem a snaží se dostat dovnitř. Pokud se vlhkost dostane do kvartové obálky lampy, ta je zničena. Spálí se mnohem dříve, než by měla. Proto se tak hodně zaměřujeme na utěsnění, zejména tam, kde vodiče přecházejí do konektorů. Pokud toto utěsnění není dokonalé, čeká vás zkrat, který znemožní efektivní práci.
Skutečná kompromisní řešení
Buďme upřímní – zlato není levné. Vaše počáteční náklady budou vyšší než v případě použití leštěného hliníku. Ale ušetříte peníze v dlouhodobém horizontu, protože spotřeba energie zůstává nízká, i když dosahujete požadovaných teplot.
Jen upozornění: musíte tyto lampy udržovat čisté. Pokud se nahromadí chemikálie nebo zlato začne oxidovat, sníží se jejich reflexivita. Potom musíte zvýšit výkon lampy, aby to kompenzovalo – a to pak vede k deformaci waferů.
Dodržujte přesný harmonogram čištění. Je to malé úsilí, ale umožní vám to udržet energii zaměřenou a wafery v bezpečí.