Dalam proses litografi, bahan photoresist tidak akan bertoleransi terhadap sebarang perubahan suhu yang kecil sekalipun. Suhu yang tidak konsisten sedikit saja boleh mengganggu proses pengeringan CD, dan akibatnya kita perlu mencari kecacatan di seluruh permukaan CD tersebut. Kami telah mencipta lampu pengering wafer DNS untuk mengurangkan variasi suhu semasa proses pengeringan.
Apa yang penting dalam proses ini
Suhu di seluruh permukaan wafer haruslah konsisten pada tahap ±0.1°C, agar setiap kawasan yang terdedah kepada cahaya mendapat suhu yang sama. Keserasian dengan bilik bersih juga sangat penting; ruang kelas 1–100 dapat dipertahankan kerana proses pemasangan tidak menghasilkan partikel berbahaya. Cahaya inframerah bertindak secara langsung pada substrat, sehingga proses pemanasan berlaku dengan cepat dan penggunaan tenaga berkurangan. Emitter yang dilindungi oleh kuarza memastikan suhu tetap stabil semasa proses pengeringan photoresist, dan sistem kawalan memastikan nilai suhu tetap konsisten dari satu sesi ke sesi yang lain.
Mengapa ia digunakan dalam litografi
Lampu pengering ini membantu menjaga suhu pada tahap yang stabil, sekali gus mengurangkan variasi lebar garis pada CD dan meminimumkan keperluan untuk memproses semula CD tersebut. Proses penyesuaian suhu berlaku dengan cepat tanpa merosakkan daya lekat photoresist. Profil suhu yang stabil ini memastikan kualiti produk tetap tinggi walaupun jumlah pengeluaran banyak. Kelebihannya ialah prestasi yang boleh diramalkan: lebih sedikit wafer yang rosak, kos pembaziran yang rendah, serta kesepadanan antara mesin-mesin yang digunakan dalam proses pengeluaran.
Catatan berkaitan pemasangan dan penyelenggaraan
Pemasangan lampu ini memerlukan persediaan yang tepat, termasuk penyambungan antara alat-alat yang digunakan serta pengaturan saluran udara supaya kawasan lampu berada dalam tekanan negatif. Lampu ini direka untuk beroperasi 24/7, namun seperti sumber haba yang tepat, ia akan berfungsi dengan lebih baik jika bekalan kuasa dan sistem penyejukan disesuaikan mengikut keperluan operasinya. Gantian lampu secara berkala diperlukan untuk memastikan suhu tetap konsisten dari masa ke masa.