Đèn hồng ngoại sấy đĩa bán dẫn silicon

Xem một tấm wafer được lấy ra sau bước xả cuối cùng. Nếu bước sấy không chuẩn xác, sẽ xuất hiện vết nước, lớp nền photoresist bắt đầu bị tách lớp và...