Tại sao việc sử dụng máy sấy bằng tia hồng ngoại lại là giải pháp tốt nhất cho quá trình sấy không chứa chì?
Khi chế tạo linh kiện bán dẫn, “độ sạch” không chỉ là một mục tiêu – mà đó chính là yếu tố quan trọng nhất. Không thể để có bất kỳ hạt bụi hay chất cặn nào làm ảnh hưởng đến các tấm wafer.
Trong thời gian dài, người ta vẫn sử dụng lò sấy thông thường. Nhưng thực tế, những chiếc lò này khá cồng kềnh và kém hiệu quả. Chúng chỉ thổi không khí vào mọi nơi, tức là chỉ đơn giản là đẩy các hạt bụi đi khắp phòng sạch mà thôi. Hơn nữa, việc làm nóng toàn bộ khối không khí trong phòng sạch cũng là sự lãng phí năng lượng lớn.
Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng máy sấy bằng tia hồng ngoại. Thay vì làm nóng không khí, năng lượng được truyền trực tiếp thông qua bức xạ điện từ. Năng lượng này đi thẳng vào bề mặt tấm wafer, mà không cần qua bất kỳ trung gian nào.
Điều quan trọng nhất chính là hiệu quả.
Vì tia hồng ngoại không lãng phí thời gian để làm nóng toàn bộ căn phòng, nên năng lượng sẽ tập trung vào chính những chỗ cần thiết trên tấm wafer. Thời gian sấy được rút ngắn từ hàng giờ xuống còn vài giây thôi. Đó là một cách rất nhanh chóng.
Hơn nữa, vì không cần phải lo lắng về quá trình đốt cháy hay luân chuyển không khí, nên bạn cũng không cần lo ngại về việc các chất ô nhiễm xâm nhập vào khu vực sản xuất. Nếu bạn muốn đạt được chứng nhận “không phát thải” hoặc “không chứa chì”, thì đây chính là giải pháp tốt nhất.
Những điều cần lưu ý trong quá trình sử dụng
Tuy nhiên, chúng ta cũng cần chú ý đến các yếu tố liên quan đến gradient nhiệt. Tia hồng ngoại rất mạnh; nếu tấm wafer không di chuyển với tốc độ phù hợp, thì có thể xuất hiện những điểm nóng tại một số vị trí nhất định. Bạn cần điều chỉnh tốc độ di chuyển của tấm wafer một cách chính xác, nếu không sẽ gây biến dạng bề mặt tấm wafer. Ngoài ra, nếu bạn tăng công suất quá cao mà không có hệ thống tản nhiệt tốt, thì bề mặt tấm wafer sẽ bị ảnh hưởng do áp lực nhiệt. Điều này đòi hỏi sự khéo léo trong việc điều chỉnh.
Lợi ích khi sử dụng máy sấy bằng tia hồng ngoại
Điều tuyệt vời nhất chính là việc bạn có thể tiết kiệm được không gian. Bạn có thể thay thế những chiếc lò sấy cồng kềnh bằng những hệ thống sấy modul hóa. Không cần phải lo lắng về các đường ống phức tạp hay hệ thống dây điện phức tạp nữa. Bạn chỉ cần điều chỉnh bước sóng và mật độ năng lượng để đạt được hiệu quả sấy mong muốn.
Đó là cách hiệu quả và êm ái hơn để sấy các tấm wafer, mà không cần phải lo lắng về những vấn đề phát sinh từ các hệ thống sấy cũ.