ในโรงงานผลิตชิป คุณไม่สามารถหลบซ่อนตัวอยู่หลังค่าดัชนีความแม่นยำได้ การเบี่ยงเบนเพียงครึ่งองศาก็ส่งผลให้เกิดความแตกต่างในความกว้างของเส้นขอบของชิป ซึ่งก็หมายถึงชิปที่เสียหายไป ในขณะที่ช่วงเวลาการอบชิปนั้นถูกวัดเป็นวินาทีและองศา จึงไม่มีพื้นที่ผิดพลาดใดๆ เลย อุปกรณ์ไฟอินฟราเรดจึงต้องสามารถสร้างความร้อนที่มีความแม่นยำและสม่ำเสมอได้ มิฉะนั้นกระบวนการผลิตก็จะไม่มีประสิทธิภาพ
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิคก็คือ ตัวสะท้อนแสงอินฟราเรดที่ทำจากอลูมิเนียมของเรานั้นถูกออกแบบมาให้มีความแม่นยำสูง โดยจะช่วยให้อุณหภูมิบนพื้นผิวชิปอยู่ในช่วง ±0.1°C ซึ่งช่วยให้พลังงานที่ใช้มีความสม่ำเสมอตามที่กำหนดไว้ พื้นผิวถูกเคลือบเพื่อลดการหลั่งก๊าซและอนุภาคต่างๆ ทำให้ได้ความสะอาดในระดับ Class 1–100 ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญมาก ความสม่ำเสมอนั้นมาจากโครงสร้างการสะท้อนแสงที่มั่นคง และค่าความสามารถในการสะท้อนแสงที่สม่ำเสมอ ดังนั้นอุณหภูมิจึงจะอยู่ในช่วงที่กำหนดไว้เสมอ
เหตุผลที่วิธีนี้ได้ผลในการผลิตฟอโตรีซิสต์ก็คือ การอบชิปแบบอ่อนนั้นช่วยในการกำจัดสารละลายและช่วยให้สารเคมีเกาะติดกับพื้นผิวชิปได้ดีขึ้น ส่วนการอบชิปแบบแข็งนั้นช่วยในการกำหนดโครงสร้างของโพลิเมอร์ก่อนการขัดถูหรือฝังอนุภาคต่างๆ ด้วยตัวสะท้อนแสงนี้ อุณหภูมิจะสม่ำเสมอทั่วทั้งชิ้นงาน ซึ่งช่วยให้สามารถควบคุมมิติของชิปได้ดีขึ้น ส่งผลให้มีการปรับแก้น้อยลง มีของเสียน้อยลง และเวลาในการผลิตก็สม่ำเสมอ นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะตัวสะท้อนแสงจะช่วยให้แสงอินฟราเรดกระจายไปยังจุดที่จำเป็นเท่านั้น ไม่สูญเปล่าไปกับส่วนอื่นๆ อุปกรณ์นี้สามารถทำงานได้ตลอด 24/7 โดยมีอุปกรณ์ที่ใช้งานมาแล้วมากกว่า 5,000 ชั่วโมง แต่ยังคงมีความแม่นยำอยู่
สรุปก็คือ อุปกรณ์นี้มีประสิทธิภาพจริงๆ
การติดตั้งนั้นขึ้นอยู่กับการจัดตำแหน่งของหลอดไฟและระยะห่างระหว่างหลอดไฟกับพื้นผิวชิป คุณจะได้ค่าที่กำหนดไว้ก็ต่อเมื่อหลอดไฟ ตัวสะท้อนแสง และพื้นผิวชิปถูกจัดวางเป็นระบบเดียวกัน ควรตรวจสอบระยะห่างระหว่างอุปกรณ์กับพื้นผิวชิป และตรวจสอบการขยายตัวทางความร้อนในอุณหภูมิการอบด้วย ควรเลือกตัวสะท้อนแสงที่เหมาะสมกับแหล่งกำเนิดแสงอินฟราเรด ไม่ว่าจะเป็นคลื่นสั้นหรือคลื่นกลาง ขึ้นอยู่กับความสามารถในการดูดซับแสงของฟอโตรีซิสต์และการตอบสนองทางความร้อน ในสภาพแวดล้อมที่มีความชื้นสูง ควรมีการตรวจสอบความสามารถในการสะท้อนแสงเป็นประจำ เพื่อรักษาความสม่ำเสมอในระยะยาว