บทความทางเทคนิคอุตสาหกรรม
ในพื้นที่ลิทิโอกราฟี ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในการอบแบบนุ่มไม่ใช่ทางเลือก—แต่มันคือสเปค การเปลี่ยนแปลง 1°C ทั่วทั้งเวเฟอร์สามารถส่งผลต่อขนาดที่สำคัญ ทำให้โปรไฟล์ด้านข้างเสียหาย และทำให้ผลผลิตลดลงซ้ำแล้วซ้ำเล่าต่อเนื่อง เราได้ออกแบบโคมอบแบบนุ่มอินฟราเรดเพื่อขจัดความแปรปรวนนี้ออกจากสมการ
แกนหลักคือการทำความร้อนแบบรังสีใกล้อินฟราเรด (NIR) ที่ปรับให้พลังงานถูกส่งตรงไปยังฟิล์มฟอโตเรซิสต์โดยไม่ทำให้ฟิล์มด้านล่างไหม้ ความสม่ำเสมอระดับเวเฟอร์ยังคงอยู่ภายใน ±0.1°C ทั่วทั้งพื้นผิวการอบ และความสามารถในการทำซ้ำยังคงอยู่ตลอดหลายล็อต หลายกะ โคมไฟประกอบมีความพร้อมสำหรับห้องสะอาด โดยมีการตรวจสอบไม่ให้เกิดอนุภาคตั้งแต่ระดับ Class 1–100 การจ่ายพลังงานยังคงมีเสถียรภาพ โดยเบี่ยงเบนไม่เกิน 5% หลังจาก 5,000+ ชั่วโมง และโปรไฟล์ความร้อนยังคงทำซ้ำได้แม้จะเปลี่ยนโคมไฟ
นี่คือเหตุผลที่สำคัญในกระบวนการผลิต: การอบแบบนุ่มตั้งค่าโปรไฟล์การกำจัดตัวทำละลายที่กำหนดการไหลของฟอโตเรซิสต์ การยึดติด และช่วงการเปิดรับแสงที่คุณจะได้รับถัดไป การควบคุมอุณหภูมิที่แน่นหนาช่วยลดการทำงานซ้ำ ลดรอบการรับรอง และลดการใช้พลังงานโดยการกำจัดเวลาที่ใช้ในการอยู่นิ่งและการเกินอุณหภูมิ คุณสามารถเพิ่มขอบเขตของกระบวนการ และลดการหยุดทำงานที่ไม่คาดคิดจากการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ
การติดตั้งขึ้นอยู่กับการจัดเรียงของออพติคัลและการจัดการไอเสียเพื่อควบคุมอนุภาคให้เป็นระเบียบ จับคู่โคมไฟกับรูปทรงของห้องและมวลความร้อนของตัวรองรับ—มิฉะนั้น ความแตกต่างจากขอบไปยังศูนย์สามารถกลับเข้ามาได้ แม้จะมีความสม่ำเสมอตามธรรมชาติของโคมไฟ กำหนดวัตต์ แรงดันไฟฟ้า และการเชื่อมต่อที่เหมาะสมกับแพลตฟอร์มของคุณ และทำการทดสอบการรับรองสถานที่ที่แมพอุณหภูมิทั่วทั้งโซนการอบทั้งหมด ไม่ใช่แค่จุดศูนย์กลางเท่านั้น