
Het juiste niveau van hitte bereiken bij het wassen van wafers
Wanneer je wafers wast, moet je tegen de klok op werken. Je wilt dat het vocht zo snel mogelijk verdwijnt – maar je kunt de wafers niet zomaar met hoge temperaturen besproeien, want dan raak je het substraat beschadigd.
Om dit te bereiken, gebruiken we waterbestendige infraroodlampen. Maar het echte geheim zit in de goudcoateerde reflectoren. Zonder deze reflectoren gaat veel van de thermische energie verloren in het apparaat zelf. Dat is zonde van energie en tijd.
Waarom goud?
De meeste mensen beginnen met aluminiumreflectoren, maar deze nemen te veel infrarode energie op. Goud is anders: het is zeer efficiënt in het terugkaatsen van infraroodlicht richting de wafers.
Stel je voor dat je de energie concentreert. In plaats van meer lampen te gebruiken en daardoor de elektriciteitsrekening te verhogen, zorgen de bestaande lampen er juist voor dat de hitte precies waar nodig is.
Omgaan met vuil
Deze lampen bevinden zich in een natte omgeving. Er is overal water, en dit water probeert altijd binnen te komen. Als vocht in het kwartsomhulsel komt, is de lamp kapot. Hij zal dan veel eerder uitvallen dan nodig is. Daarom is het belangrijk om de aansluitingen goed af te sluiten, vooral waar de draden in de verbindingen komen. Als deze aansluitingen niet perfect zijn, loop je het risico op een kortsluiting, waardoor je productiviteit wordt belemmerd.
De praktische balans
Eerlijk gezegd is goud niet goedkoop. De initiële kosten zullen hoger zijn dan wanneer je aluminium gebruikt. Maar je bespaart geld op de lange termijn, omdat de energieverbruik laag blijft, zelfs wanneer je de gewenste temperaturen bereikt.
Let op: je moet deze lampen schoon houden. Als er chemicaliën op de lampen terechtkomen of als het goud begint te oxideren, neemt de reflectie af. Dan moet je de vermogenssterkte verhogen om dit te compenseren – en dat kan ertoe leiden dat je wafers beschadigen.
Houd dus een strikt schoonmaakschema aan. Het kost wat moeite, maar zo blijven je wafers veilig en behouden ze hun vorm.