ウエハー加熱の効率を最大限に引き出すには
半導体クリーンルームで使用されるトロリーを使う際、単に「物を温める」だけでは不十分です。重要なのは、エネルギーを正確に必要な場所、つまりウエハーの表面に送り込むことです。
ほとんどの人々は通常の石英ランプを使っていますが、これらは熱をあらゆる方向に放出してしまいます。計画がなければ、消費されるエネルギーの半分が無駄になってしまいます。これは明らかなエネルギーの浪費です。
そこで私たちは、金メッキされた反射板を使用します。
金の魔法
金は赤外線波長に対して非常に優れています。そのエネルギーの98％以上を反射します。ケースに薄い金膜を塗ることで、光子が四方八方に散らばるのを防ぎ、直接ウエハーに向けて反射させます。これにより、散乱した光が集中したビームに変わります。結果として、基板上の熱密度が大幅に上昇し、仕事を遂行するために高いワット数を必要としなくなります。
速度と制御のバランス
ここでの大きな利点は速度です。目標温度に到達するのがずっと早くなり、面倒な加熱時間も短縮されます。
しかし、注意点もあります。エネルギーが集中するため、ウエハーが急速に加熱されます。PIDコントローラーの設定が適切でないと、目標値を超えてしまう可能性があります。ウエハーの端が焼けてしまわないように、センサーの校正をしっかり行う必要があります。
クリーンルームでの利用
輸送用トロリー内のスペースは限られているため、サイズを小さくしています。また、金層もしっかりと密封されているため、剥がれや金属粉の発生がなく、クリーンルーム内の汚染も防げます。
さらに、電力代も節約できます。これらを電力回路に接続すると、消費電力が減少し、一方で表面温度は常に適切な値を保ちます。これにより、施設の電力供給系統にかかる負荷を軽減できます。