クラス100のクリーンルームを本当に清潔な状態に保つためには、単に「ほぼ清潔」であるだけでは不十分です。ワークスペースに粒子が飛び散ったり、何かが剥がれ落ちたりしてはいけません。問題は、一般的なヒーターはこのような環境では使い物にならないことです。加熱や冷却の際にガスが発生したり、本体が壊れてしまったりするからです。
私たちはその問題を解決しました。高純度の石英を使ったIRランプを、精密に作られたステンレス製のケースに収めました。シンプルですが、効果的です。
なぜ純粋な石英を使うのか？
ヒーターチューブとしては合成石英を使用しています。普通のガラスでは、高温に耐えられず、分解したり、有害な揮発性有機化合物を放出したりしてしまいます。しかし石英は違います。赤外線が直接工作物に当たるので、導体材質は不要です。つまり、ほこりが潜む場所も少なくなります。
ケースに関する詳細
ほとんどの汚染はケースから始まります。そのため、私たちはこの部分に多くの時間を費やしました。316Lステンレスを使用し、鏡のように磨き上げています。なぜかというと、微細な凹みがあると、そこに粒子が溜まってしまうからです。
また、可能な限り従来の溶接は避けています。代わりに、精密な曲げ加工やオービタル溶接を使用しています。スラグや火花、部屋の中に残るゴミもありません。
ちなみに、エアフローにも注意が必要です。空気の流れをスムーズに保つことで、粒子が生産エリアに舞い上がるのを防ぎます。
ヒートと冷却のバランス
問題は、これらのランプは非常に強力であるということです。大量の熱が発生するため、サイクルタイムは短縮されますが、冷却システムにとっては大きな負担になります。
もし排気系統が十分に強くなければ、ケースが変形したり、夜中にクリーンルームの警報が鳴ったりします。火曜日を楽しく過ごすには最悪です。
安全を確保するために、高耐熱性のPTFEケーブルを使用しています。これにより、絶縁体が溶ける心配がありません。電源の電圧とワット数が合致していれば、既存のラックにそのまま取り付けることができます。
ほこりもなく、煙もありません。純粋なIRエネルギーのみです。