DNS スクリーン ウェーハ乾燥ランプ

ライン上では、フォトレジストはわずかなばらつきも許しません。少しでも温度制御が狂うと、CDの制御が崩れてしまい、最終的にはウェーハ全体で欠陥を探すことになります。私たちは、このような熱処理のばらつきを解消するために、DNSスクリーンウェーハドライヤーランプを開発しました。 内部で重要なのは何か ウ...