クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
もしクラス100のクリーンルームを運営しているなら、ガスが漏れ出したり、本来あってはならない場所に微粒子が浮遊するという悩みをよくご存知でしょう。これは絶え間ない戦いです。一般的な赤外線ランプでは、加熱や冷却の際に不純物が漏れ出したり、小さな破片が剥がれ落ちたりする傾向があります。
だからこそ、私たちは金メッキされたツインチューブ式の石英ランプを使用しています。このランプなら問題なく機能します。
なぜ金が重要なのか
実は、石英の周囲に薄い金の層を塗ることで、発光スペクトルが変わり、長波長の赤外線が再びランプ内に戻されます。その結果、対象物に向けてより強力で集中した短波長の熱が照射されます。
さらに、その金の層はシールドの役割も果たします。これにより、石英が周囲の空気と反応するのを防ぎ、汚染物質が製造エリアに侵入するのを防ぎます。こうして、環境は常に清潔な状態が保たれます。
装置の仕組み
ツインチューブ式を採用しているのは、スペースを取らずに加熱面積を2倍にできるからです。また、高純度の合成石英も使用しています。これは非常に丈夫で、急激な温度変化にも耐えられます。
ただし、注意点もあります。必要なワット数を出すためには、ランプは高温になります。そのため、電源装置をしっかり調整しておく必要があります。わずかな電圧の乱れでもフィラメントが壊れてしまう可能性があります。作業中にそれが起こるのは避けたいですね。
注意すべき点
これらのランプは、ほとんどの赤外線ランプの代替品として使えますが、取り付け時には注意が必要です。
清潔さには細心の注意を払ってください。
金のコーティングに指紋や油の跡が付くと、「ホットスポット」ができてしまいます。そうなると、その部分に熱応力が蓄積され、石英が割れてしまいます。
また、金は非常に反射率が高いため、多くの熱が被加工物に向かいますが、その一部の熱はランプのケースの近くに留まります。そのため、接続部が過熱しないように、冷却ファンが十分に強力であることを確認してください。