वेफर फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को सुखाने हेतु आवश्यक तापमान कोई सुझाव नहीं है; बल्कि यह एक निर्धारित मान है। यदि इस तापमान में आधा डिग्री की भी त्रुटि हो जाए, तो सीडीओं पर प्रभाव पड़ेगा। ऐसी स्थिति में अतिरिक्त काम एवं नुकसान होगा। इसी कारण ही “डिम्मेबल सेमीकंडक्टर हीटर लैंप” बनाया गया है – ताकि तापमान नियंत्रण में रहे।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
हमने इस लैंप को तेज, दोहराये जा सकने वाले एवं समान तापमान प्रदान करने हेतु बनाया है। शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्व, आवश्यकता के अनुसार ही कार्य करता है, एवं क्लोज्ड-लूप नियंत्रण प्रणाली तापमान को ±0.1°C की सीमा में ही रखती है। डिम्मिंग फीचर के कारण ऊर्जा का उपयोग नियंत्रित रहता है; इससे विभिन्न प्रक्रियाओं को सटीक रूप से पूरा किया जा सकता है – बिना किसी हार्डवेयर परिवर्तन के।
क्वार्ट्ज आवरण एवं क्लीनरूम-अनुकूल डिज़ाइन:
यह लैंप क्लास 1–100 वाले वातावरणों हेतु उपयुक्त है; कार्य करते समय इससे कम गैस निकलती है, एवं कोई कण भी नहीं उत्पन्न होता।
लिथोग्राफी में इसका उपयोग:
लिथोग्राफी एवं फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण में, उत्पादन की गुणवत्ता तापमान की नियमितता पर ही निर्भर है। यह लैंप बैचों के बीच विविधताओं को कम करता है, जिससे दोषों की संख्या कम हो जाती है। कम विचलन, उच्च उत्पादन दर, एवं कम अनप्लान्ड डाउनटाइम।
ऊर्जा उपयोग:
ऊर्जा का उपयोग भी कम होता है। लैंप केवल आवश्यक मात्रा में ही ऊर्जा खपत करता है, न कि पूरी क्षमता से।
व्यावहारिक विवरण들:
यह लैंप मानक सेमीकंडक्टर बेकिंग उपकरणों में ही उपयोग में आ सकता है; लेकिन इसके एकीकरण हेतु तापीय मास एवं सेंसरों की स्थिति का ध्यान रखना आवश्यक है। इसे अपने चेम्बर की ज्यामिति के अनुसार ही लगाना होगा, ताकि समान तापमान प्राप्त हो सके।
इसके अलावा, ड्राइवर को उपकरण के रेफरेंस पॉइंट से जोड़ना आवश्यक है, ताकि मापन में कोई त्रुटि न हो। रिट्रोफिटिंग की प्रक्रिया को अपने PM विंडो के अनुसार ही योजनाबद्ध करना आवश्यक है – रिप्लेसमेंट में समय कम लगता है, लेकिन एलाइनमेंट एवं कैलिब्रेशन ही इसकी कुंजी है।